판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038085

AXCELIS / FUSION 200 PCU
ID: 9038085
웨이퍼 크기: 8"
UV photostabilizers, 8" Single chamber UV bake 3-Axis robot.
AXCELIS/FUSION 200 PCU는 매우 복잡한 마이크로 일렉트로닉 부품 제조를 위해 설계된 고급적이고 안정적인 노출 장비입니다. 이 시스템은 고유한 고출력 빔 (High Power Beam) 전달 장치 (Delivery Unit) 를 통해 탁월한 기능 해상도 기능으로 마이크로일렉트로닉 부품을 생산할 수 있습니다. FUSION 200 PCU (FUSION 200 PCU) 는 광범위한 기판 및 재료를 처리하고 경쟁 시스템 비용의 일부분에서 우수한 프로세스를 생산하도록 설계되었습니다. AXCELIS 200PCU (AXCELIS 200PCU) 는 사용자가 노출 프로세스를 최대한 활용할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 이 기계 에는 밝고 고도 로 집중 된 전자 "빔 '을 사용 하는 빔' 배달 도구 가 있는데, 이것 은" 빔 '을 미세 하게 조작 하여 최대 의 해상도 에 도달 할 수 있게 하는 일련 의 장 과 "렌즈' 를 통해 배출 된다. 이 자산은 저전력 (Low Power) 에서 고전력 (High Power) 에 이르는 신뢰성이 높은 노출 능력을 제공하여 고품질 마이크로 전자 구성 요소의 생산을 보장합니다. FUSION 200PCU (FUSION 200PCU) 는 또한 정교한 빔 제어 모델을 특징으로하며, 이는 빔이 중요한 매개변수를 충족하고 전체 노출 과정에서 목표를 유지하도록 설계되었습니다. 이 장비를 통해 사용자는 전력 수준, 속도, 초점, 발산뿐만 아니라, 전자빔을 효과적으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 또한 노출 과정에서 기판을 모니터링하는 정교한 센서 (sensor) 를 통합하고, 프로세스를 적극적으로 조정하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 AXCELIS 200 PCU 에는 노출 과정 중 오염 정도를 제한하도록 설계된 고급 진공 환경 (Advanced Vacuum Environment) 이 포함되어 있습니다. 이 진공 환경 은 어떤 해로운 "가스 '나 입자 도 가까운 곳 에 있지 않게 하는데, 그 과정 중 에 원치 않는 오염 을 일으킬 수 있다. 마지막으로, 200 PCU 에는 FUSION Monitor 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 단일 액세스 지점에서 노출 프로세스의 모든 면을 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한 이 강력한 소프트웨어를 통해 사용자는 노출 프로세스 (Exposure Process) 동안 장치의 데이터를 수집할 수 있습니다. 즉, 발생할 수 있는 모든 문제나 불일치를 파악하고 수정할 수 있습니다. 결론적으로, 200PCU (200PCU) 는 신뢰할 수 있고 고급 노출 기계로, 다양한 기판 및 재료를 갖춘 우수한 결과를 제공합니다. 이 툴은 고급 빔 전달 자산, 고급 빔 제어 모델, 고급 진공 환경, 정확한 AXCELIS Monitor 소프트웨어 패키지 등 다양한 기능을 통합합니다. 강력한 기능을 갖춘 AXCELIS/FUSION 200PCU는 우수한 품질과 매우 정밀한 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 구성요소를 필요로 하는 제조업체에 이상적인 옵션입니다.
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