판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9038084
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AXCELIS/FUSION 200 PCU (Process Control Unit) 는 고급 반도체 및 기타 전자 부품 제조를 위해 특별히 설계된 고급, 완전 프로그래밍 가능, 저에너지, 노출 장비입니다. 최첨단 프로세스 모델링, 제어, 최적화 및 검증 기술을 통해 프로세스 제어를 극대화하고 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). FUSION 200 PCU는 photoresist 모델링, 프로세스 제어, 기계 제어 및 성능 검증으로 구성된 다중 레벨 프로세스 아키텍처를 사용합니다. 이렇게 하면 프로세스 변수와 시스템 성능을 최대한으로 제어할 수 있으므로 프로세스 제어 (process control) 및 반복 (repeatability) 수준을 극대화할 수 있습니다. 이 제품은 메인프레임 프로세서, 대형 평면 패널 모니터, 입/출력 주변 장치 등 모든 주요 장치 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있는 인체 공학적 워크스테이션 (ergonomic workstation) 으로 설계되었습니다. 디스플레이 패널은 사용자 친화적이며, 프로세스 매개변수 및 데이터에 대한 실시간 정보를 제공합니다. AXCELIS 200PCU 의 독보적인 프로세스 제어 기술을 통해 광범위한 프로세스 매개 변수 (예: 방사선 전력, 용량 속도, 빔 프로파일링, 해상도) 를 정확하게 제어하고 최적화할 수 있습니다. 그 결과, 예리한 이미징, 반복 가능한 결과, 원하는 설계 출력을 조정할 수 있습니다. 성능 검증 (Performance Verification) 기술은 시스템 성능 및 프로세스 레시피를 모니터링하는 동시에 실시간 분석을 통해 즉각적인 피드백을 제공하는 고급 품질 보증 (Quality Assurance) 기능을 제공합니다. 이것은 미세 라인, 서브 미크론 장치 제작의 검증에 특히 유익합니다. AXCELIS/FUSION 200PCU 는 또한 노출의 관리 및 최적화를 간소화하는 포괄적인 포토마스크 라이브러리 레시피 라이브러리 (Library of photomask Library recipe) 와 여러 프로세스를 자동화하는 포괄적인 프로세스 레시피 라이브러리 (Library of process recipe) 를 갖추고 있습니다. 200PCU (200PCU) 는 종합적인 기능을 통해 고급 반도체 및 기타 전자 부품 제작에 이상적인 솔루션입니다.
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