판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9016214

AXCELIS/FUSION 200 PCU 장비는 최첨단 석판 처리 및 기능을 제공하는 강력한 노출 시스템입니다. 다양한 기능을 제공하므로 다양한 기판 (substrate) 을 다양한 형식으로 정확하게 패턴화할 수 있습니다. FUSION 200 PCU 노출 장치는 고급 TRR (Target Renovation Retarder) 및 최첨단 옵틱과 결합 된 DUV (Deep-자외선) 노출 소스를 사용하여 작동합니다. 견고한 공기 베어링 머신 (air-bearing machine) 은 정확하고 반복 가능한 움직임을 보장하여 정확한 오버레이 및 패턴 배치를 가능하게 합니다. 또한 AXCELIS 200PCU 는 최첨단 저응력 웨이퍼 (low-stress wafer) 리샘핑 툴과 현장 광 모니터링 자산을 갖추고 있어 실시간으로 데이터를 모니터링할 수 있습니다. 이로 인해 노출 시간이 줄어들고 더 높은 수율을 제공하고 개선이 이루어집니다. FUSION 200PCU에는 에치백 (etchback) 및 가변 모양 노출 (variable-shaped exposure) 과 같은 다양한 이미지 균일 작업을 수행하여 뛰어난 수율과 향상된 기능 정확도를 제공합니다. 또한, 이 모델은 업계 최고의 오버레이 정확도를 제공하여 하나의 작업 단계에서 여러 노출 격자 (Exposure Grid) 를 패턴화할 수 있습니다. 포함된 자동 정렬 도구 (auto-alignment tool) 는 다양한 이미지 형식과 호환되므로 설정과 실행이 그 어느 때보다 쉬워집니다. 내성 처리 기능으로 볼 때 AXCELIS/FUSION 200PCU 는 중간급 및 고해상도 선택성을 지원하므로 피치를 0.6 미크론까지 노출시킬 수 있습니다. 이 장비에는 또한 포토 esist 특성의 정확한 특성을 제공하는 고급 저항 평가 (Advanced Resist Evaluation) 기능이 포함되어 있습니다. AXCELIS 200 PCU 시스템은 가장 널리 사용되는 CAD 프로그램 및 프로세스 플랫폼과 호환되며, 기존 설정에 쉽게 통합할 수 있으며, 생산성 및 운영 유연성이 향상되었습니다. 또한, 이 장치에는 센서, 광학 등 다양한 액세서리를 장착할 수 있으며, 필요에 따라 추가 사용자 정의가 가능합니다. 전반적으로, 200 PCU (200 PCU) 는 다양한 기능과 기능을 갖춘 강력하고 효율적인 노출 머신으로, 뛰어난 생산량과 향상된 기능 정확성을 제공합니다. 그것 은 다양 한 "기판 '과" 레이어' 의 종류 에 적합 하기 때문 에, 여러 가지 응용 분야 에 있어서 훌륭 한 석판 "솔루션 '이 된다.