판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PC #9383814

AXCELIS/FUSION 200 PC 노출 장비는 다양한 포토마스크 노출 및 웨이퍼 패턴화 프로세스를 수용하도록 설계된 안정적이고 고성능 플랫폼입니다. 이 시스템은 TCO (총소유비용) 절감과 처리량 극대화를 위한 고급 기능을 제공하며, 다양한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 애플리케이션에 적합합니다. 이 노출 장치 에는 높은 "펌프 '속도 와 낮고 일관성 있는 배경 압력 을 갖춘 고급 진공기 가 장착 되어 있다. 이 도구는 또한 자동화 된 웨이퍼 카세트 로더 (wafer cassette loader) 와 깨끗한 로봇 암 (robotic arm) 을 제공하여 마스크 및 웨이퍼를 효율적으로 드라이 클리닝합니다. 고유한 기능은 DTF (Distance to Focus) 입니다. DTF (Distance to Focus) 를 사용하면 노출 중에 마스크와 웨이퍼 사이의 거리를 빠르게 변경할 수 있습니다. 이 자산에는 단일 마스크 노출 및 조정 가능한 셔터 속도가 포함 된 4 단계 노출 수준이 제공됩니다. 또한 FUSION 200 PC에는 고급 사전/사후 노출 기능을 제공하는 통합형, 고성능 이미지 처리 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 모델은 또한 통합 마스크 검증 및 정렬 시스템 (Alignment System) 을 제공하여 빠르고 정확한 패턴 배치를 가능하게 합니다. VACTRANS (Integrated Vacuum Transfer) 장비 및 자동 웨이퍼 처리 시스템은 노출 시간을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한 이 시스템은 인체 공학적 안전 (ergonomic safety) 기능과 이미지 모니터링 시스템을 제공하여 정확성과 안전성을 보장합니다. 전반적으로 AXCELIS 200 PC 노출 장치는 안정적이고 고성능 머신으로, 포토마스크 노출 및 웨이퍼 패턴 처리 (wafer patterning process) 와 같은 다양한 마스크 및 웨이퍼 어플리케이션을 관리하는 데 적합합니다. 고급 진공 도구, 자동 웨이퍼 카세트 로더, 클린 로봇 암 (clean robotic arm) 이 제공됩니다. 또한, 통합 이미지 처리 소프트웨어 및 기타 통합 안전 (Integrated Safety) 기능, 마스크 검증 및 정렬 시스템, 빠르고 정확한 패턴 배치, 생산성 향상 등의 이점을 제공합니다.