판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PC #9250798

AXCELIS/FUSION 200 PC는 자동화된 석판화 (lithography) 노출 장비로, 유연한 설치 및 운영 기능을 갖춘 안정적인 반도체 구성 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 듀얼 챔버 (Dual Chamber) 디자인이 있으며, 단일 유닛 내에 2 개의 독립적 인 공정 챔버, 하나는 저항을 개발하고 하나는 저항을 노출하고 패턴화합니다. 이 기능을 사용하면 공정 균일성 (process uniformity) 이나 정확성 (accuracy) 을 희생시키지 않고 포토리스 (photoresist) 및 기판 처리의 처리량이 높습니다. 또한 듀얼 챔버 (Dual Chamber) 디자인은 화학 오염물이나 다른 오염 물질을 한 방에서 다른 방으로 옮기는 것을 방지함으로써 교차 오염 위험을 줄이는 이점을 제공합니다. FUSION 200 PC는 스핀코트, 베이크, 정렬, 노출, 노출 후 베이크, 개발 및 린스를 포함한 다양한 프로세스 단계를 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고급 자동 정렬 기술 (automated alignment technology) 을 특징으로하며, 이 기술은 광학을 사용하여 기판의 패턴을 배치하고 매핑합니다. 이 기술은 해상도와 정확도를 향상시키며, 사용자 입력 시간도 대폭 단축합니다. 또한 AXCELIS 200 PC는 컴퓨터 방식의 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능을 통합하여 기계의 기판 처리 단계에서 기판 전송과 정확한 위치를 파악하고 전송 시간을 단축합니다. 200 PC는 반복 가능한 이미징 챔버 카메라 도구 (camber camera tool) 와 내장 뷰포트 (view port) 를 갖추고 있어 기판과 크리티컬 패턴을 쉽게 정렬할 수 있습니다. 이 자산은 모듈식 (modular) 구성과 인체 공학적 (ergonomic) 설계로 사용자 액세스 및 이동성을 개선하고 유지 관리 용이성을 향상시킵니다. AXCELIS/FUSION 200 PC에는 장비 프로세스 제어를 완벽하게 통합하고 원활하게 통합할 수 있는 사용자에게 친숙한 OPCS (On-board Process Control Model) 가 있습니다. OPCS는 프로세스 매개변수를 모니터링하고 시스템 작동 중 사용자의 개입을 최소화하도록 설계되었습니다. FUSION 200 PC는 작은 부품을 실행할 수 있으며, 전체적으로 증가하는 장치 가동 시간을 제공합니다. 이 기계는 또한 단일 웨이퍼에 대한 반복 가능성과 높은 처리량을 제공합니다. 또한, 자동화된 기판 처리 기술을 통해 수작업 설정 시간을 단축하고 공구 수율을 최적화합니다. 이 자산은 프로토 타입과 소규모 생산 응용 프로그램 모두에 적합합니다.