판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PC #9205015

AXCELIS/FUSION 200 PC Exposure Equipment는 하위 아이콘 기능이있는 장치를 생산하도록 설계된 고정밀 고급 석판 시스템입니다. 특정 응용 분야에 맞게 조정할 수있는 광범위한 노출 광학 (Exposure Optics) 이 특징입니다. FUSION 200 PC 장치는 고급 이미징 기술과 고급 순차 조명을 사용하여 매우 정확한 패턴화 결과를 얻습니다. AXCELIS 200 PC 머신은 다른 구성 요소와 함께 노출 헤드, 스테퍼 모터 및 PECVD 도구로 구성됩니다. 노출 헤드에는 패턴 이미지를 빠르고 정확하게 캡처하는 고속, 디지털 카메라가 포함되어 있습니다. "시스템 '의 방사선 원 은" 제논 램프' 나 "레이저 '가 될 수 있다. 그런 다음 카메라에서 얻은 데이터를 PECVD 에셋 (PECVD asset) 으로 전송합니다. 여기서 PECVD 에셋은 제작을 위해 원하는 패턴을 생성하는 데 사용됩니다. 200 PC 모델과 관련된 SXA 200 다각형 스캐너는 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 스캐닝 속도와 해상도는 다양한 디바이스 요구 사항을 충족하도록 쉽게 조정할 수 있습니다. 노출 컴포넌트의 VCU 및 에미터 (Emitter) 도 노출 프로세스와 관련된 노이즈를 줄입니다. 또한, 전동 플랫폼 (motorized platform) 을 사용하면 노출 과정에서 기판의 위치를 정확하게 조정할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION 200 PC 장비에는 시스템 메뉴와 컨트롤을 쉽게 탐색할 수 있는 평면 패널 디스플레이도 있습니다. 이 디스플레이를 통해 사용자는 노출 프로세스 (예: 노출 시간, 노출 에너지) 를 모니터링할 수 있으며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 장치를 조정할 수 있습니다. 또한 Diagnostics Machine 은 FUSION 200 PC 의 주요 데이터와 매개변수를 캡처합니다. FUSION 200 PC는 툴 문제 해결 및 최적화에 사용할 수 있습니다. AXCELIS 200 PC 의 컴퓨터 인터페이스 (computer interface of AXCELIS 200 PC) 를 통해 사용자는 노출 및 프로세스 매개변수를 신속하게 검토하고 조정할 수 있으며, 네트워크 또는 인터넷에 쉽게 연결할 수 있습니다. 이를 통해 200 PC는 노출 자산을 원격으로 관리하고 생산 효율성을 극대화하는 효과적인 도구입니다.