판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PC #9157616

AXCELIS/FUSION 200 PC는 고급 반도체 프로세스를 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 더 큰 작업장 (Workfield), 고해상도 (Higher Resolution), 뛰어난 노출 제어 (Exposure Control) 형태로 탁월한 성능을 제공합니다. 고급 셔터 제어 (shutter control) 및 정렬 정밀도로 최대 200mm 크기의 기판을 노출 할 수 있습니다. 이 장치에는 기판의 뛰어난 패턴화 기능을위한 고해상도 이미징 광학이 있습니다. 최대 200mm (photo resist), 유리 (glass) 또는 기타 매우 투명한 재료를 포함하여 정밀 노출이 필요한 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 기계의 독보적인 자동 초점 (Auto Focus) 알고리즘은 초점과 해상도를 자동으로 조정하여 노출된 웨이퍼에서 최적의 반복 가능한 기능을 보장합니다. 이 도구는 최적의 성능과 효율성을 보장하도록 설계된 여러 가지 최첨단 (state-of-the-art) 기능으로 더욱 향상되었습니다. 에셋은 강력한 웨이퍼 처리 모델 (wafer handling model) 을 특징으로하며, 자동 웨이퍼 정렬 및 조정을 통해 노출 챔버 내에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 또한, 일관된 노출 개방 및 폐쇄와 정확한 셔터 제어를 보장하는 통합 폐쇄 루프 (closed-loop) 셔터 장비를 갖추고 있습니다. 또한, 독특한 다이 투 다이 패턴 배치 시스템은 웨이퍼의 여러 다이 패턴 사이의 정확한 정렬을 보장합니다. 이 장치에는 최대 8 초의 UV 노출 시간도 있습니다. 이로 인해 처리량 및 생산성이 향상되고, 과도한 노출과 관련된 결함이 줄어듭니다. 또한 자동으로 펌프 속도를 최적화하고 UV 광 분포를 최적화하는 사용자 친화적 인 이온 펌프가 있습니다. 폭로기는 안전하고 일관된 작동을 보장하는 통합 보호 유리 (protective glass) 로 더욱 보호됩니다. FUSION 200 PC는 또한 레이저 정렬 기능 (laser alignment capability) 과 같은 고급 기능을 제공하여 다이 정렬 (die alignment) 및 사전 노출 플라즈마 클리닝 (pre-exposure plasma cleaning) 과 같은 정렬 작업을 즉시 완료할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 E-beam 또는 Stepper 노출 제어 소프트웨어와 디지털 I/O 제어 소프트웨어를 포함한 프로세스 제어를 위한 최첨단 소프트웨어에서 지원됩니다. 마지막으로, 신뢰성 및 안전성을 높이기 위해 이 자산에는 전용 안전 스위치 (Safety Switch) 와 하드웨어 잠금 장치 (Hardware Lock) 를 사용한 하드웨어 및 소프트웨어 수준의 안전 모니터링이 포함됩니다. 이를 통해 모델이 국제 안전 표준에 따라 운영됩니다. 따라서 AXCELIS 200 PC는 고급 사진 분석 및 포장 프로세스에 이상적인 장비입니다.