판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9399207
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
AXCELIS/FUSION 200 ACU는 패턴 형 실리콘 웨이퍼를 자외선에 노출시키기 위해 설계된 자동 노출 장비입니다. 이 시스템은 레이저 다이오드 어레이 (laser diode array), 패턴 인식 광학 (pattern recognition optics), 위치 센서 (positional sensor) 및 컴퓨터 제어 모션 시스템 (computer controlled motion system) 과 같은 고급 기술을 사용하여 다양한 응용 프로그램에 웨이퍼를 정확하게 노출시킵니다. FUSION 200 ACU는 고효율 레이저 다이오드 어레이 (diode array) 를 갖추고 있으며, 최대 1000 와트에서 자외선을 방출하여 기존의 노출 시스템보다 처리량이 높습니다. 레이저 다이오드 어레이 (Laser diode array) 는 고급 광학 기술을 기반으로하며 자체 보정 (self-calibrating) 방식으로 단일 웨이퍼 내에서 더 높은 정확도와 반복 노출 패턴을 허용합니다. 이 단위는 또한 다각형, 원, 타원, 사각형 및 육각형, 주기적 및 비 주기적 패턴 또는 격자로 후퇴할 수 있습니다. AXCELIS 200ACU의 자동 패턴 인식 및 정밀 광학은 웨이퍼에서 EZQ (Exposure-Zone-Quality) 분석이 가능하며, 단일 패스에서 패턴 웨이퍼를 정확하게 인식하고 정확하게 노출 할 수 있습니다. 또한 기계는 wafer. 또한, 200ACU는 레이저 다이오드 어레이 (laser diode array) 아래의 웨이퍼와 노출 실행 (exposure run) 사이의 웨이퍼를 정확하게 이동시키는 역할을 하는 고급 모션 시스템을 사용하여 위치 센서를 통해 웨이퍼의 패턴 위치를 정확하게 검증합니다. 이렇게 하면 패턴 크기, 방향, 복잡도에 관계없이 패턴이 정확하게 노출됩니다. 이 자동화되고 정확한 노출 도구는 3 인치, 5 인치, 8 인치, 12 인치 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼를 수용할 수 있으며, 사용자에게 특정한 프로세스 요구를 충족시키기 위해 자산을 세밀하게 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다. 견고하고 안정적인 디자인으로, 200 ACU는 패턴 화 된 실리콘 웨이퍼와 관련된 모든 생산 프로세스에 적합한 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다