판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9225547

AXCELIS/FUSION 200 ACU 는 Optic 의 정밀도와 다양한 옵션을 갖춘 고급 노출 장비로, 다양한 고해상도 결과를 얻을 수 있습니다. 상업 및 산업 응용 모두를 위해 설계되었습니다. FUSION 200 ACU는 자동 초점 시스템을 사용하여 웨이퍼 표면의 정확한 제어 및 이미징을 수행합니다. 가변 속도, 고정밀 제어 장치 (high-precision control unit) 를 통해 노출 매개변수를 세밀하게 제어할 수 있습니다. 노출 기계는 모든 방향으로 안정적이고 정확한 움직임을 제공하는 공기 베어링 (Air Bearing) 구조를 사용합니다. AXCELIS 200ACU 는 가변 조리개 다이어프램 (diaphragm) 과 컨라이메이터 조리개 (Colimator Aperture) 를 장착하여 웨이퍼 표면에 높은 품질의 빔 균일성과 노출 균일성을 제공합니다. 또한 조정 가능한 열 위치와 각도와 3개의 조정 가능한 축 (X, Y, Z) 을 제공합니다. 에셋에는 노출 및 노출 매개 변수를 제어하는 자동 프로세서가 있습니다. 이를 통해 쉽게 프로그래밍하고 웨이퍼를 빠르게 노출 할 수 있습니다. 자동 노출 모델에는 노출 프로파일 기록 (Exposure Profile Recording) 및 노출 데이터 저장 (Exposure Data Storage) 도 포함되어 있어 다중 노출 실행에 걸쳐 높은 수준의 결과와 노출 매개변수의 반복 가능성을 제공합니다. 200ACU에는 노출 마스크 및 기타 특수 응용 프로그램을위한 특수 옵션도 있습니다. 이 장비는 접촉, 근접, 건조 노출이 가능하므로 다양한 웨이퍼 제조 공정에 적합합니다. AXCELIS 200 ACU 은 (는) 노출 분야의 모든 영역에서 매우 일관된 노출 균일성으로 매우 정확합니다. 컴팩트하고 설치가 용이하며, 자동화된 기능을 통해 다양한 애플리케이션에 빠르고 효과적으로 대비할 수 있습니다 (영문). 자동화된 기능과 쉬운 프로그래밍은 또한 노출 시간을 최소화하고, 노출 정밀도를 극대화할 수 있습니다. 200 ACU (Advanced Exposure System) 는 고해상도 결과, 정확한 제어, 다양한 어플리케이션에 대한 광범위한 옵션을 제공하는 고급 노출 시스템입니다. 자동화된 기능과 간편한 프로그래밍을 통해 다양한 웨이퍼 제조 (wafer manufacturing) 프로세스에 이상적입니다.