판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 ACU #9083197

AXCELIS/FUSION 200 ACU는 포토 마스크 생산을 위해 설계된 자동 노출 장비입니다. 이 시스템은 유연성, 비용 효율성, 높은 성능을 제공하여 안정적인 성능과 장기적인 사용을 지원합니다. 이 장치에는 정확하고 일관된 결과를 제공하는 초고속 소형 스테퍼 모터가 있습니다. 빠른 속도는 건조 시간을 단축하고 노출의 정확성을 향상시킵니다. 고해상도 광학 (optic) 과 가변 슬릿 (slit) 크기를 통해 다양한 다른 포토 마스크 유형을 처리 할 수 있습니다. 또한 닫힌 루프 머신 (closed-loop machine) 과 조정 가능한 속도 (adjustable speed) 로 인해 정확한 패턴 등록 및 정렬이 가능합니다. 다중 영역 구성 (multi zone configuration) 은 높은 해상도와 각 영역의 노출로 다양한 기판 크기를 안정적으로 노출 할 수 있습니다. FUSION 200 ACU의 고급 셔터 도구는 정확한 노출 시간 제어를 제공하는 반면, 필터 어셈블리는 최대 340W/cm ² 의 광 에너지를 정확하게 변조합니다. 또한 발열량 개선을위한 저진공 자산 (low vacuum asset) 과 장비 가동 시 안전성을 강화하기위한 레이저 연동 안전 모델 (Laser Interlock Safety Model) 을 포함한 고급 안전 및 유지 보수 기능으로 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 사용자 편의를 위한 인체 공학적 설계를 갖추고 있으며, 장치 보안을 위한 자가 잠금 (self-locking) 핸들이 있습니다. 충격이 큰 인클로저는 장치가 진동이 없도록 보장하고, 청소실 호환 설계는 입자 오염을 최소화합니다. 또한 광학 카메라 감시 기계 (Optical Camera Surveillance Machine) 및 AIoT 모니터링 도구는 데이터, 설정, 프로세스에 대한 지속적인 모니터링을 제공하며 자산의 이상이나 장애에 대해 사용자에게 경고합니다. 전반적으로 AXCELIS 200ACU 는 신뢰할 수 있고, 비용 효율적이며, 고성능 모델로, 많은 photomask 생산 요구에 적합합니다. 첨단 기능 및 설계를 통해 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 수년 동안 안정적으로 안전하고 안전하게 실행할 수 있습니다 (영문).