판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 ACH #136440

AXCELIS/FUSION 200 ACH는 반도체 장치에서 고품질 이미징 패턴을 만드는 데 사용되는 노출 장비입니다. 동급 최고의 이미징 결과를 제공하도록 설계된 툴박스 (Toolbox) 의 기능을 제공합니다. 스테퍼 모터 제어 (stepper motor control) 에서 고출력 (high-power source) 에 이르기까지, ACH는 오늘날 시장에서 가장 정교한 석판화 장비 중 하나입니다. ACH는 시스템 속도와 정확성을 향상시키기 위해 독특한 200mm 스패닝 (spanning) 시야로 설계되었습니다. 스테퍼 모터 제어는 전체 이미지 필드에서 +/-1äm의 정확성을 보장합니다. 또한 최대 0.44 미크론의 픽셀 해상도로 이미지 디테일을 높입니다. 이 장치의 4 사분면 소스 제어는 노출 시간을 줄이고 생산성을 높입니다. ACH는 복잡한 OLED 디스플레이 및 반도체 Contact Image Sensor 장치와 같은 고급 석판화 응용 프로그램에 이상적입니다. 백사이드 웨이퍼 검사 (backside wafer inspection), 마스크 쓰기 (mask write) 및 다이 검사 (die inspection) 의 전체 스펙트럼에 걸쳐 우수한 이미지를 생성 할 수 있습니다. 고급 기능을 최대화하기 위해 ACH에는 이미지 처리 소프트웨어가 내장되어 있습니다. 이를 통해 연산자는 이미지 스캔, 이미지 분석, 센서 출력, 프로세스 제어 등의 기능을 수행 할 수 있습니다. 또한 자동 웨이퍼 백사이드 검사 도구 (automated wafer backside inspection tool) 로도 사용할 수 있으며, 운영자에게 웨이퍼 결함 및 수리 가능성에 대한 자세한 정보를 제공합니다. ACH에는 통합 냉각기가 있으며 표준 6 "(15cm) 및 8" (20cm) 웨이퍼와 작동하도록 설계되었습니다. '직접 (direct)' 모드와 '원격 (remote)' 모드가 있어 다양한 반도체 실험실에서 사용할 수 있습니다. 또한 저비용 (Land Cost) 및 경량 (Lightweight) 설계를 통해 다양한 작업에 대한 비용 효율적이고 손쉽게 솔루션을 전송할 수 있습니다. FUSION 200 ACH 는 강력하고 매우 정확한 노출 툴로서, 다양한 반도체 제작 작업을 처리할 수 있습니다. 상세한 리소그래피 패턴화 (lithography patterning) 에서 정확한 이미지 분석 및 프로세스 제어 기능에 이르기까지, 이 에셋은 사용자에게 뛰어난 이미징 품질과 정확도를 제공합니다. 저렴한 가격과 다양한 설계로, ACH 는 모든 하이엔드 반도체 (semiconductor) 실험실 시설에 이상적인 솔루션입니다.