판매용 중고 AXCELIS / FUSION 150PC #9302854

AXCELIS/FUSION 150PC는 반도체 장치 제작에 사용되는 사진 해설을 위해 설계된 노출 장비입니다. 첨단 프로세스 기술 솔루션 분야의 선두 주자인 FUSION Technologies 가 설계했습니다. 이 시스템은 VSB (Variable-Shaped Beam) 패턴 생성기를 사용하여 광마스크에 원하는 패턴을 노출시키기 위해 고에너지 UV 방사선의 집중적이고 정확한 반점을 생성합니다. 이 장치는 고해상도, 대형 시야 (field of view), 다중 계층 공중 이미징 기능으로 인해 높은 생산성을 제공합니다. FUSION 150PC는 최대 150 와트의 소스 파워를 제공하며 빔 크기와 모양을 제어하기 위해 최적화된 투영 광학을 제공합니다. VSB 패턴 생성기, 이미징 렌즈, 관련 전원 공급 장치로 구성됩니다. 이미징 렌즈는 다중 레벨 원격 중심성으로 설계되어 이미징 정밀도를 극대화합니다. 확장 가능한 자체 정렬 포커싱 머신은 7 요소 갈릴리 광학 도구 (Galilean optical tool) 와 자동 포커스 제어 (focus control) 를 사용하여 서브 미크론 수준의 반복성을 달성합니다. 고정밀 빔 (Beam) 포지셔닝 자산을 통해 VSB 패턴 생성기와 이미징 렌즈의 안정적이고 고속 정렬을 통해 결함이 보장됩니다. AXCELIS 150 PC의 고해상도는 0.7 ° m이며, 넓은 동적 범위의 뛰어난 이미지를 제작할 수 있습니다. 넓은 시야 (field of view) 는 다양한 마스크 크기와 다른 회로 패턴에 대한 뛰어난 이미징 기능을 제공합니다. 이 모델은 또한 다중 계층 공중 이미징을 지원하여 복잡한 3D 구조의 처리량을 높입니다. 자동 패턴 인식은 패턴 인식 프로세스의 높은 정확성을 허용합니다. 이 장비는 고정밀 정렬 시스템 (high-precision alignment system) 으로 설계되었으며, 마스크 테이블의 위치 정확도를 5um 으로 제어하고 감지 할 수 있습니다. 이 장치에는 전원 차단 및 안전 연결 (Safety Interlock) 과 같은 고급 안전 기능도 있습니다. 또한 광 구성 요소는 자동 교정 (automatic calibration) 과 통합되어 수동 조정 횟수를 줄입니다. 전반적으로 FUSION 150 PC는 photolithography 프로세스를 위해 설계된 뛰어난 UV 노출 기계입니다. 이 제품은 정밀 빔 형성 도구, 광시야각 (wide field of view), 다중 레이어 공중 이미징 기능으로 인해 최대 해상도와 높은 처리량을 제공합니다. 최첨단 사진 해설기로서, AXCELIS 150PC는 반도체 장치 제작에 이상적인 선택입니다.