판매용 중고 AXCELIS / FUSION 150PC #9061421

AXCELIS/FUSION 150PC 노출 장비 (Exposure Equipment) 는 레티클 및 기타 기판 처리를 위한 고급 자동 솔루션입니다. 이 시스템은 단일 노출 도구에서 photoresist, layer level, metal, etch, inspection 및 기타 처리 단계를 제공 할 수 있습니다. 탁월한 처리량, 신뢰성, 반복성 및 프로세스 제어 수준을 제공합니다. 이 장치는 모듈 식 다중 영역 설계 개념을 기반으로합니다. 이렇게 하면 사용자의 특정 요구에 따라 시스템을 조정할 수 있습니다. 다용도가 높으며 저가 단일 포인트 (single-point) 도구 또는 각 기판 레이어의 여러 노출이 있는 전체 기능의 듀얼 포인트 (dual-point) 자산으로 구성할 수 있습니다. 이 모델을 사용하면 배치 (batch) 모드와 인라인 (in-line) 모드 모두에서 작업을 수행할 수 있으므로 처리량 및 프로세스 변형을 최적화할 수 있습니다. 장비는 고강도 UV 소스, 모든 렌즈, 광학 부품, 이미지 향상 장치 등 필요한 모든 구성 요소로 완성됩니다. 이 시스템은 높은 수준의 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공하도록 설계되었습니다. IECS (Integrated Exposure Control Unit) 는 시스템 소프트웨어 내에 가상 레이어를 생성하므로 각 레시피의 매개변수를 저장하고 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자는 각 레이어의 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고 최적화할 수 있습니다. 이 기계에는 최첨단 석판화 제품군도 있습니다. 이 소프트웨어는 설계 준비 (Preparation) 와 편집 (Editing) 에서부터 노출 매개변수의 미세 조정 (Fine-tuning) 에 이르기까지 리소그래피 프로세스를 관리하고 자동화하도록 설계되었습니다. 이 소프트웨어에는 모니터링 및 분석 도구 (monitor/analysis tools) 가 포함되어 있어 프로세스 조건을 모니터링하고 실시간으로 결과를 분석할 수 있습니다. 이 도구는 일련의 고급 현미경 기능도 제공합니다. 고해상도 이미지 또는 3D 모델을 캡처하기 위해 라이브 방송 카메라와 통합 할 수 있습니다. 석판화 (lithographic) 기능의 검사 및 분석을 용이하게 하기 위해 다양한 확대 (magnification) 로 구성 할 수도 있습니다. 마지막으로 자산은 뛰어난 자동화 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 단계 통과 기능을 통해 여러 기판을 동시에 신속하게 처리할 수 있습니다. 또한, 이 모델의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 견고한 로봇 (robotics) 은 조작자 제어를 용이하게 하며, 장비를 보다 빠르고 쉽게 작동시킬 수 있습니다. 전반적으로, FUSION 150PC 노출 시스템 (FUSION 150PC Exposure System) 은 매우 정교하고 다면적인 솔루션으로, 레티클 및 기타 기판 처리에 가장 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 이 장치는 최고의 성능, 확장성, 자동화 및 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 적응성이 높고 유연한 아키텍처로, 임의의 석판화 (lithographic) 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.