판매용 중고 AXCELIS / FUSION 150PC #84749

AXCELIS/FUSION 150PC는 최첨단 고성능 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 노출 장비로, 고급 사진 해설법 처리의 엄격한 요구를 충족하도록 설계되었습니다. FUSION 150PC는 2-in-one 아키텍처 설계, 2 개의 독립적 인 웨이퍼 및 마스크 스테이지가있는 완전 통합 광학 열을 갖추고 있습니다. 이 독보적인 2/1 아키텍처 (two-in-one architecture) 를 통해 웨이퍼와 마스크를 동시에 노출할 수 있으므로 고급 석판화 처리에서 처리량 증가에 대한 엄격한 요구를 충족할 수 있습니다. 이 시스템은 강력한 프로그래밍 가능한 레이저 드라이브와 통합 마스크 (mask) 및 웨이퍼 레티클 (wafer reticle) 단계를 사용하여 레티클과 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 이 장치에는 고급 옵틱 패키지와 광학 현미경에서 UV 및 SEM 검사 시스템에 이르기까지 다양한 이미징 옵션이 있습니다. AXCELIS 150 PC는 광학 경로 수정, 이미지 향상, 완전 프로그래밍 가능한 자동 정렬/측정 도구 등 다양한 처리 툴과 기능을 갖추고 있습니다. 내장된 조정 및 검증 제품군을 통해 일관되고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 정확도 및 처리량 향상을 위한 혁신적인 새로운 제어 (Control Procedure) 를 제공하므로 용량, 타이밍, 초점, 기타 중요한 매개변수를 쉽고 빠르게 제어할 수 있습니다. FUSION 150 PC는 기존 I-line 도구의 최대 해상도 1.5 배에 도달할 수 있으므로 초미세 회로 (Ultra-Fine) 기능을 구현하는 동시에 비용을 절감할 수 있습니다. 자산에는 파괴적이지 않은 레이저 전력 테스트가 가능한 고급 진단 도구 (Advanced Diagnostic Tools) 가 장착되어 있어 각 레티클과 웨이퍼에 대한 정확하고 재현 가능한 측정이 가능합니다. 일관성이 필요한 영역의 경우, 모델은 wafer-to-reticle 노출과 최소한의 사용자 노력 및 개입을 가능하게 하는 고급 오버랩 패턴 (overlap patterning) 알고리즘으로 설계되었습니다. AXCELIS 150PC (AXCELIS 150PC) 는 견고하고 안정적인 설계를 갖춘 최강의 장비로, 고급 석판화 프로세스에서 최고 수준의 처리량과 정확성을 달성하는 데 적합합니다. 혁신적인 기능과 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 결합되어 있어 모든 반도체 제작 설비에 적합한 선택입니다.