판매용 중고 AXCELIS / FUSION 150 #9384765

AXCELIS/FUSION 150은 FUSION Technologies Inc.에서 개발 한 정교한 노출 장비로, 다양한 반도체 제작 프로세스에 사용됩니다. 이 시스템은 웨이퍼 처리, 리소그래피, chemoepitaxy 및 MEMS 제작과 같은 응용 분야에 적합합니다. 이 장치는 오늘날의 반도체 (semiconductor) 제조 산업의 엄격한 요구를 충족하기 위한 고급 (advanced) 기능을 제공하여 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. FUSION 150은 오프 축 패턴 필드 조명 (PFIL) 플랫폼을 기반으로합니다. 이 고유 한 플랫폼은 정확도가 높은 비대칭 기능을 노출시킵니다. 기계는 각각 1.4 및 14 nm의 이미징 및 조명 해상도를 갖는다. 다양한 이미지 처리 알고리즘을 갖춘 자동 정렬 (automated alignment) 툴을 사용하여 정확하고 반복 가능한 필드 패턴화를 보장합니다. 자산은 또한 미세한 노출 제어 및 조정을 허용합니다. 이 모델은 고급 도량형 (advanced metrology) 및 고급 동작 제어 (advanced motion control) 기능과 완벽하게 통합되어 높은 처리량과 정확한 결과를 보장합니다. 고해상도 툴킷은 정확한 오버레이 및 반복성 (overlay and repeatability) 을 가능하게 하며, 도량형 기능은 웨이퍼 노출도 보장합니다. 또한 full-field, quadrant, segment 등의 다양한 프로그래밍 가능한 필드 크기 구성을 지원하여 정확한 반복 위치 지정 및 노출이 가능합니다. AXCELIS 150 은 에너지 효율성이 뛰어나며, 전력 및 냉각 장치가 통합된 고성능 에너지 관리 장비를 갖추고 있습니다. 필요한 모든 전원 및 냉각 부품은 시스템에 통합되어 에너지 효율성 (Optimal Energy Efficiency) 과 안정성을 보장합니다. 이 장치는 글로벌 안전 (Global Safety) 및 규정 요건을 준수하며 안정성 및 장기 운영을 위해 설계되었습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스로 제작되어, 쉽고 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. 또한, 강력한 시스템 구성을 통해 빠르고 쉽게 공구를 통합하고 실행할 수 있습니다. 150은 자동 정렬, 통합 필드 패턴, 완벽한 자동화, 고에너지 효율성 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이것은 고정밀 노출 프로세스와 비용 효율적인 웨이퍼 생산에 이상적인 선택입니다. 고급 기능과 안정적인 작동을 통해 반도체 생산 요구 사항에 매우 적합합니다.