판매용 중고 TEGAL Plasmod #9186245

TEGAL Plasmod
제조사
TEGAL
모델
Plasmod
ID: 9186245
Etcher 5" x 6" deep quartz chamber.
테갈 플라즈모드 (TEGAL Plasmod) 는 반도체, 전자 및 광학 산업을위한 정밀 금속 구조 제조를 위해 설계된 정밀, 금속 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 컴퓨터 제어 고급 플라즈마 (Plasma) 기술을 사용하여 금속 부품 표면에서 원치 않는 재료를 정확하게 제거하고, 추가 처리를 위해 깨끗하고, 평평하고, 균일 한 기반을 제공합니다. 플라즈모드 (Plasmod) 는 절연 된 사이드 월에 장착 된 저항을 포함하는 밀봉 및 가열 된 챔버를 특징으로합니다. 고주파 전파는 소스에서 가열 된 챔버로 보내지며, 여기서 챔버 내의 재료와 반응하여 고온 "플라즈마 (plasma)" 를 생성합니다. 이 "플라즈마 '는 금속 표면 을 침식 하여, 불활성 물질 의 미세 한 층 을 만들어, 또 다른 용도 의 염기 역할 을 한다. 기존의 에칭 프로세스와 달리 TEGAL Plasmod는 매우 효율적이고 균일하며 반복 가능합니다. Plasmod는 CoCr, AlSi, AlMg, CuNi 및 NbFe를 포함한 다양한 금속과 함께 작동합니다. 즉, 광범위한 재료 유형과 두께로 정확하고 빠르게 작업하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 가변 에칭 속도를 제공하여 컴포넌트 유형 (component type), 두께 (thickness) 및 재료 (material) 에 따라 속도를 조정할 수 있습니다. 테갈 플라즈모드 (TEGAL Plasmod) 는 또한 구성 요소 표면에서 잔류 물질을 제거하고 깨끗하고 평평하게 남기는 데 사용할 수있는 선택적 애싱 (ashing) 프로세스를 특징으로합니다. 재싱 (Ashing) 은 성분을 손상시키지 않고 오일, 산화물 등의 잔기를 청소하는 데 유용합니다. Plasmod 는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 완벽하게 제어하며, 사용자가 원하는 결과를 얻을 수 있는 속도, 전력, 시간 매개 변수를 제어할 수 있도록 합니다. 이 장치는 분당 최대 18cm의 속도로 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 할 수 있으며, 이는 기존 에칭 프로세스에 비해 생산 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 또한, TEGAL Plasmod 기계에는 오류를 감지하고 보고 할 수있는 고유한 자체 진단 모드 (self-diagnostic mode) 가 포함되어 있어 안전하고 신뢰할 수 있습니다. 전체적으로, 플라즈모드 (Plasmod) 는 신뢰할 수 있고, 효율적이며, 반복 가능한 에칭 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하여 광범위한 재료 유형과 두께로 정확하고 빠르게 작업할 수 있습니다. 반도체, 전자 및 광학 산업에 이상적인 선택입니다.
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