테갈 (TEGAL) 은 에처/애셔 (etchers/ashers) 제조업체로 다양한 응용 프로그램에 적합한 다양한 고품질 제품을 제공합니다. 이 에처/애셔는 반도체 제조, MEMS 제작 및 연구 실험실에서 널리 사용됩니다. TEGAL의 에처/애셔는 정확한 제어 및 일관된 성능을 보장하는 고급 유사체로 설계되었습니다. 혁신적인 기술을 활용하여 뛰어난 프로세스 균일성, 정확한 에치 깊이 제어, 빠른 주기 (cycle time) 를 제공합니다. 이러한 기능을 통해 TEGAL 에처/애셔는 R&D 및 프로덕션 환경 모두에 적합합니다. TEGAL 에처/애셔의 주요 장점 중 하나는 다재다능성입니다. 규소, 이산화규소, III-V 화합물 반도체, 금속 및 중합체를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 특정 공정 요구 사항을 충족시키기 위해 다양한 에치 화학 물질을 제공합니다. TEGAL은 903E, 901e 및 901과 같은 모델을 포함한 포괄적인 제품 라인을 제공합니다. 903E는 고밀도 플라즈마 기술을 갖추고 있으며, 까다로운 어플리케이션을 위한 탁월한 정확성과 균일성을 제공합니다. 901e (901e) 는 높은 처리량 및 프로세스 유연성을 제공하도록 설계되어 운영 환경과 연구 환경 모두에 적합합니다. 901은 성능 저하 없이 비용 효율적인 운영을 제공하는 다목적 엔트리 레벨 etcher/asher입니다. 전반적으로 TEGAL 에처/애셔는 신뢰성, 성능 및 다재다능성으로 유명합니다. 테갈 (TEGAL) 은 고급 기능과 다양한 제품 라인을 통해 에칭/애싱 업계에서 계속해서 신뢰할 수있는 제조업체입니다.

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