판매용 중고 TEGAL Plasmod #9186244

테갈 플라즈모드 (TEGAL Plasmod) 는 실리콘 (Silicon) 과 화합물 반도체 (Compound Semiconductor) 를 포함한 광범위한 재료에 대해 탁월한 공정 성능을 제공하는 고급 에칭 및 애싱 장비입니다. 기계 는 질 이 가장 높은 여러 가지 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 처리 하도록 설계 되었다. "가스 '깊이 와 압력 이 여러 개 있는 극히 진공실 을 사용 하여" 에칭' 과 "애싱 '과정 을 효과적 으로 수행 한다. 이 시스템은 직경 2 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 하나의 배치에서 균일 한 포지셔닝으로 최대 6 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. Plasmod의 자동화 및 안정성은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 적합한 선택입니다. 에칭 및 애싱 프로세스는 TEGAL Plasmod로 고도로 제어되고 정확하게 모니터링됩니다. 강력한 프로그래밍 가능한 컨트롤러로, 프로세스를 자세히 조정하는 데 사용됩니다. 사용자는 etch 및 ash 프로세스의 시간 (time) 과 흐름 속도 (flow rate) 를 모두 정의할 수 있습니다. 또한 "컨트롤러 '를 사용 하여 압력, 온도," 가스' 성분 을 감시 하여 완성 된 제품 의 최고 의 질 을 보장 할 수 있다. "플라즈모오드 '는 또한 고유 한 압력 조절 장치 를 사용 하여, 모든" 가스' 수치 가 어떤 특정 한 시점 에서 적절 히 유지 되고 제어 된다. 사용자는 특정 요구사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수도 있습니다. 여기에는 가스 유량, 압력, 온도 등과 같은 매개 변수를 구성하는 기능이 포함됩니다. TEGAL Plasmod는 매우 사용하기 쉽고 유지 관리하도록 설계되었습니다. 여기에는 작업을 빠르고 효율적으로 수행할 수 있게 해 주는 쉽게 서피스 청소 (clean surfaces) 가 포함됩니다. 또한 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 을 통해 도구를 사용할 때 사용자나 환경에 아무런 해로움이나 손상이 발생하지 않도록 합니다. Plasmod 에칭 및 어싱 에셋은 에칭 및 어싱 (ashing) 요구에 가장 높은 수준의 품질, 정확도 및 안정성을 제공합니다. 이 모델은 리서치 (Research) 와 산업 환경 (Industrial Environment) 에 이상적이며, 완벽하고 정확한 결과를 제공하는 광범위한 재료를 제공할 수 있습니다.