판매용 중고 TEGAL Plasmod #133169

테갈 플라즈모드 (TEGAL Plasmod) 는 물리 및 화학 기술을 사용하여 다양한 재료에 복잡한 패턴을 효과적으로 만드는 최첨단 에처/애셔 (echer/asher) 입니다. 이 장치 는 상단 "에치 '실 로 구성 되는데, 그 아래 부분 에는" 레이저' 광선 이 초점 을 맞추고 "가스 '배달 을 위한 하부" 에치' 실 이 있다. 상공 챔버에는 탈착식 노즐 (removable nozzle) 이 장착되어 있으며, 대상 재료에서 CO2 레이저 빔을 정확하게 지시합니다. 이 "레이저 '는 식각 해야 할 위치 에" 에너지' 를 공급 한다. 그러면 "레이저 '" 에너지' 는 재료 와 반응 을 나타내며, 재료 의 영향 을 받는 영역 을 원하는 "패턴 '에 맞도록 제거 하거나 변경 시킨다. "레이저 '에는 또한 빔 동질화 장치 가 장착 되어 있어서, 더욱 표면 처리 를 보장 한다. 하방 에서는, "가스 '발전기 를 사용 하여 한정 된 공간 에 비활성" 가스' 를 채운다. 재료 및 원하는 패턴에 따라, 가스 흐름은 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 이것 은 "레이저 '" 에너지' 를 균등 하게 하는 데 도움 이 되며, 그 결과 기판 을 뒤틀고 태우는 것 을 방지 한다. 플라즈모드는 또한 레이저 유도 화학 에칭 (LICE) 을 수행 할 수 있는데, 이는 일반 기계식 에칭 리시버와 비교하여 일부 시간에 복잡한 패턴을 생성하는 과정이다. 그것은 반응-이온-에처 (reactive-ion-etcher) 와 같은 화학 에찬트 (etchant) 에 의존하며, 이는 선택적 에찬트로 기능하고 물질의 제거 증가를위한 레이저 에너지를 향상시킵니다. 반응성-이온-에처 (reactive-ion-etcher) 는 또한 표면 오염을 줄이고 기질을 에칭 공정 전체에서 그대로 유지하는 데 도움이됩니다. 정확한 패턴화를 위해 TEGAL Plasmod는 3축 CCD 비디오 카메라, 고해상도 이미지, 에칭 영역의 빠른 측정을 위한 자동 도량형 소프트웨어 등 다양한 품질 제어 기능을 제공합니다. 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 쉽고 빠르게 매개변수를 설정하여 생산성과 정확도를 높일 수 있습니다. 플라즈모드 (Plasmod) 는 다양한 에칭 및 애싱 (eching) 프로세스에 적합하며 높은 수준의 정밀도, 품질, 반복성을 보장하는 다양한 강력한 도구입니다. 이 장치는 고급 에칭/애싱 (etching/ashing) 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택이며 항공 우주, 의료, 자동차 산업에서 뛰어난 결과를 제공 할 수 있습니다.