판매용 중고 TEGAL Plasmaline 515 #9244783

TEGAL Plasmaline 515는 고급 건식 플라즈마 에칭 및 애싱 장비입니다. 산화 실리콘, GaAs, 질화 갈륨, 포토 esist 등 다양한 물질에 대한 인라인 처리를 제공하도록 설계되었습니다. Plasmaline 515에는 고해상도, 고진공 플라즈마 소스 및 정교한 대용량 마이크로 웨이브 플라즈마 소스가 있습니다. 그것 은 여러 개 의 "마이크로 '파" 채널' 을 이용 하여 정확 한 "에치 '와 재 의 결과 는 효율적 이고 생산적 이다. 테갈 플라즈말린 515 (TEGAL Plasmaline 515) 는 고급 자동화를 통해 설계되었으며, 플라즈마 매개변수를 자동으로 감지하고 균일 한 에치 및 재 생산을 보장하는 조정을 할 수 있습니다. 정교한 제어 시스템은 전체 통합 처리 라인에서 일치하는 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 를 정확하게 엔지니어링 제어를 제공합니다. 또한, 이 장치는 독립 프로세스 가스 제어 (Process Gas Control) 를 갖추고 있으므로 최적의 프로세스 조건을 달성하고 신속하고 정확하게 수정할 수 있습니다. 플라즈말린 515 (Plasmaline 515) 는 웨이퍼 및 가장 높은 에칭 동질성 수준에 대해 여러 형식을 지원할 수 있습니다. 새로운 PlasmaJet 기술을 사용하도록 설계되어 뛰어난 에치 균일성을 유지할 수 있습니다. 또한 기울기 가능한 기판 홀더가 있으며, 이는 에치 패턴 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. TEGAL Plasmaline 515는 모듈식 설계로, 필요에 따라 업그레이드와 향상된 기능을 제공합니다. 에칭 전후 기판을 냉각시키기 위해 완전히 통합 된 진공 냉각 장치 (Vacuum Cooling Machine) 를 사용합니다. 진공 냉각 도구 (Vacuum Cooling Tool) 는 프로세스 챔버의 수명을 유지하면서 균일성 (etch unifority) 및 처리 처리량을 향상시키는 데 도움이됩니다. 요약하자면, 플라즈말린 515 (Plasmaline 515) 는 고급 건식 플라즈마 에처 및 애셔로, 매우 정확한 에칭 및 재 기능을 갖춘 여러 재료의 인라인 처리를 제공합니다. 고급 자동화, 정교한 제어 시스템, 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 최고의 품질 표준을 충족할 수 있습니다.