판매용 중고 TEGAL Plasmaline 415 #9008684
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ID: 9008684
Asher / etcher
Stripper batch loaded
Barrel type plasma reactor
Chamber size (mm): 125 (high), 265 (deep)
For (50) 4" wafers
(3) Gas channels
Missing relays
RF generator:
50-300 W
Peak power: 1,000 W
13.56 MHz.
TEGAL Plasmaline 415는 현대 산업의 고급 제작 요구 사항을 충족하도록 설계된 강력하고 사용자 친화적 인 에칭 머신입니다. 특허받은 이온화 빔 (ionized-beam) 기술을 활용하여 금속 표면의 복잡한 모양과 패턴을 정확하고 깊이 에칭합니다. 결과는 미세한 표면 마감과 빠른 주기 시간을 가진 매우 정확한 부품입니다. 이 시스템은 모듈식 및 확장 가능한 아키텍처를 갖추고 있으며, 다양한 구성이 가능합니다. 응용 프로그램 및 프로덕션에 따라, 사용자는 두 가지 표준 프로세스 옵션 (열전달 (thermionic transfer) 또는 반응성 이온 (reactive ion) 에칭) 중에서 선택할 수 있습니다. 두 기술 모두 기존의 에칭 기술보다 높은 정확도, 높은 해상도, 높은 처리량을 제공합니다. 플라즈말린 415 (Plasmaline 415) 는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있는 스마트 컨트롤러로 구동됩니다. 이를 통해 모든 프로세스 특성을 매우 빠르고 정확하게 변조할 수 있습니다. 통합 진공 시스템은 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장하며, 통합 자동 제거 시스템은 오염을 방지합니다. TEGAL Plasmaline 415는 주로 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 견고하고 대칭적인 프로파일을 제공합니다. '고급 안전 측정' 과 '낮은 소음 출력' 은 바쁜 생산 환경에 이상적입니다. 기계의 크기는 209 x 62 x 71cm이며 무게는 약 680kg입니다. Plasmaline 415에는 에칭 깊이를 모니터링하고 조정하는 내장 진공 센서도 포함되어 있습니다. 완전 자동화된 머신 오퍼레이터 인터페이스 (Fully Automated Machine Operator Interface) 는 에칭을 위해 사용 가능한 모든 매개변수에 쉽고 직관적으로 액세스할 수 있습니다. 통합 프로그램 라이브러리 (Integrated Program Library) 를 통해 프로그래밍의 정확성을 보장하여 사용자는 시스템을 빠르고 안정적으로 설치하고 운영할 수 있습니다. 플라즈말린 에처 (Plasmaline etcher) 는 현대 산업에 귀중한 자원으로, 상세하고 반복 가능한 결과, 더 빠른 처리, 그 어느 때보 다 높은 정확도를 제공합니다. 고급 기술과 결합된 유연하고 사용자 친화적인 아키텍처 (User-Friendly Architecture) 는 모든 규모의 엔지니어링 및 제조 회사에 이상적인 선택입니다.
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