판매용 중고 TEGAL Plasmaline 200 #9141854

TEGAL Plasmaline 200은 강력한 RF 발전기와 대용량 로드 락 (load lock) 장비를 갖춘 고급의 고정밀 에처/애셔입니다. 이 기계는 최적의 결과로 가장 광범위한 에칭 프로세스를 수행하도록 구성되었습니다. 플라즈말린 200의 플라즈마 발전기 (Plasma generator) 는 광범위한 플라즈마 에너지 수준과 가스 화학 물질을 갖춘 고온 플라즈마를 생성합니다. RF 생성기를 조정하여 에치 서피스 (etch surface) 를 가로 질러 플라즈마의 분포를 제어 할 수 있습니다. 결과적으로 프로세스 재생성과 신뢰성이 향상됩니다. 고압 챔버 (High-Pressure Chamber) 및 로드 잠금 시스템 (Load Lock System) 을 통해 사용자는 급식 용량이 크고 에칭 프로세스를 제어할 수있는 분위기를 제공합니다. 증기 상 에칭을 위해 옵션 기화기를 추가 할 수 있습니다. 기화 된 종은 에칭 챔버 (etching chamber) 내부에 전달되어 높은 수준의 제어를 가진 드라이 에칭 (dry etching) 과정을 수행한다. TEGAL Plasmaline 200 의 사용하기 쉬운 소프트웨어는 사용자에게 프로세스 개발 기능을 제공하여 레시피 최적화를 개선합니다. 이 장치에는 각 etching 프로세스에 대한 실시간 모니터링 및 데이터 로깅 (data logging) 기능과 다중 etch head 구성의 wafer 포지셔닝 기능이 내장되어 있습니다. 플라즈말린 200 (Plasmaline 200) 의 고급 디자인은 실리콘, 질화 갈륨, 비소 갈륨 및 기타 재료를 포함한 다양한 재료를 에칭하는 데 적합합니다. 이 기계의 자동화 된 기술은 생산 및 측정을 용이하게 만드는 반면, 정밀도 및 공정 재생성 (process reprodibility) 은 고급 프로세스 개발에 적합합니다. 요약하면, TEGAL Plasmaline 200은 강력한 RF 생성기와 대용량 로드 락 머신을 사용하여 최적의 결과를 통해 고정밀 에칭을 보장하는 강력하고 다용도 etcher/asher입니다. 시스템의 프로세스 제어 (automated process control) 및 모니터링 (monitoring) 기능을 사용하면 고급 프로세스 개발 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다.