판매용 중고 TEGAL CS980 #293754219

TEGAL CS980은 고급 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 etcher/asher 장비입니다. 다용도가 높은 이 툴은 여러 프로세스 모듈을 통합하여 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션을 뛰어난 정확도와 제어로 사용할 수 있습니다. CS980 은 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 갖춘 제품으로, 연구개발 (Research and Development) 을 위한 선도적인 선택과 안정성과 고성능 장비가 필요한 프로덕션 환경을 제공합니다. TEGAL CS980 (TEGAL CS980) 은 모듈식 설계를 통해 다양한 프로세스 애플리케이션의 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있는 간편한 사용자 지정 및 확장성을 제공합니다. 시스템은 일반적으로 여러 프로세스 챔버로 구성되며, 각각은 에칭 (etching), 스트리핑 (stripping), 클리닝 (cleaning) 또는 서피스 수정 (surface modification) 과 같은 특정 프로세스 단계를 전담합니다. 이 모듈식 레이아웃 (modular layout) 은 효율적인 프로세스 통합을 가능하게 하며 여러 기판의 병렬 처리를 통해 공구 활용도를 극대화합니다. CS980의 주요 기능 중 하나는 고급 플라즈마 처리 기술로, 가스 흐름, 압력, 전력, 온도 등의 매개변수를 정확하게 제어하여 매우 균일하고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스에 적합한 저압 플라즈마 환경을 생성하는 고주파 RF 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. RF 소스는 MHz 범위의 주파수에서 작동하며, 처리 챔버 전체에서 우수한 플라즈마 안정성과 균일성을 제공합니다. 테갈 CS980 (TEGAL CS980) 에는 가공 중 가스 유속 및 조성을 정확하게 제어 할 수있는 정교한 가스 전달 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 처리실에 프로세스 가스를 정확하고 안정적으로 전달하는 대량 흐름 컨트롤러, 압력 조절기, 가스 매니 폴드 어셈블리 (Gas Manifold Assembly) 가 포함됩니다. 가스 배달 자산은 다양한 화학 물질 및 공정 레시피를 지원하도록 설계되어 CS980 (CS980) 은 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합합니다. 테갈 CS980 (TEGAL CS980) 은 고급 플라즈마 및 가스 전달 시스템 외에도, 처리 중 기판의 정확한 위치화 및 정렬을 보장하는 고정밀 기판 처리 모델을 갖추고 있습니다. 이 장비에는 로봇 암, 웨이퍼 척 (wafer chucks) 및 엔드 이펙터 (end effector) 가 장착되어 있어 기판의 자동 로드 및 언로드 및 처리 챔버 내에서 기판 이동을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 자동 처리 시스템 (automated handling system) 은 사람의 개입을 최소화하고 처리 중 기판 손상 또는 오염 위험을 줄입니다. 또한 CS980 은 사용자 친화적인 인터페이스/제어 소프트웨어로 운영자가 프로세스 레시피를 손쉽게 설정하고, 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하며, 프로세스 데이터를 분석하여 최적화하고, 문제를 해결할 수 있도록 합니다. 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 는 레시피 개발, 프로세스 모니터링, 데이터 분석을 위한 직관적인 툴을 제공하여, 최소한의 교육을 통해 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로 TEGAL CS980은 고급 플라즈마 처리 기술, 정밀한 가스 전달 시스템, 자동 기판 처리 기능을 결합한 매우 정교한 에처/애셔 (etcher/asher) 장치로, 광범위한 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제조 공정에 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. 모듈식 설계, 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스 등을 갖춘 CS980 은 반도체 업계의 최첨단 리서치 및 프로덕션 애플리케이션을 위한 탁월한 제어, 유연성을 제공하는 다목적 툴입니다.