판매용 중고 TEGAL CS980 #293754218

테갈 CS980 (TEGAL CS980) 은 최첨단 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 장비로 반도체 제조에 사용되는 다양한 유형의 웨이퍼를 처리하기위한 고급 기능을 제공합니다. 이 다목적 도구는 정확하고 균일 한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하여 반도체 산업의 연구, 개발, 생산을위한 필수 장비로 설계되었습니다. CS980 의 주요 특징 중 하나는 다양한 소재와 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리하는 다재다능성입니다. 이 시스템은 실리콘 (silicon), 복합 반도체 (compound semiconductor), 유리 (glass) 등 다양한 기판과 호환되므로 다양한 유형의 장치를 유연하게 처리할 수 있습니다. 또한, TEGAL CS980은 작은 조각에서 표준 300mm 웨이퍼에 이르는 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으므로 연구 및 생산 환경 모두에 적합합니다. CS980은 고급 플라즈마 기술을 사용하여 정확하고 균일 한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 이 장치는 반응성 종을 생성하여 웨이퍼 표면을 효과적으로 에치 또는 재시 (ash) 하는 고밀도 플라즈마 소스를 통합합니다. 이 "플라즈마 '의 근원 은 조정 이 가능 하여 여러 가지 재료 와" 응용프로그램' 에 대한 공정 "파라미터 '를 최적화 할 수 있다. TEGAL CS980에는 쉽고 직관적인 작동이 가능한 사용자 친화적 인 인터페이스가 있습니다. 컴퓨터에는 프로세스 레시피 (process recipe) 와 매개변수 (parameter) 를 사용자 정의할 수 있는 유연성을 제공하는 정교한 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 또한 CS980 은 고급 모니터링 (monitoring) 및 진단 (diagnostic) 기능을 제공하여 필요에 따라 프로세스를 실시간으로 추적할 수 있습니다. TEGAL CS980에는 안정적이고 안전한 작동을 위해 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 사고를 예방하고 장비와 인력을 보호하는 내장 인터 록 (interlock) 과 안전 센서 (safety sensor) 가 포함되어 있습니다. 또한 CS980 은 안전 및 환경 보호에 대한 업계 표준 및 규정을 준수합니다. 성능 측면에서 볼 때, TEGAL CS980은 뛰어난 프로세스 반복성과 균일성을 통해 고품질의 결과를 제공합니다. 에셋은 에치 속도 (etch rate) 와 선택성 (selectivity) 을 정확하게 달성하여 사용자가 원하는 에칭 프로파일을 높은 정확도로 달성 할 수 있습니다. 또한, CS980은 낮은 입자 생성과 뛰어난 프로세스 제어를 제공하여 높은 장치 생산량 및 신뢰성을 보장합니다. TEGAL CS980 은 높은 생산성과 처리량을 제공하도록 설계되어 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다. 이 모델은 빠른 프로세스 주기 (process cycle time), 빠른 웨이퍼 로드 및 언로드 기능을 제공하여 운영 효율을 높이고 다운타임을 최소화합니다. 또한 CS980 은 자동화된 운영 라인에 통합되어 원활한 웨이퍼 처리를 수행할 수 있습니다. 결론적으로, TEGAL CS980은 최첨단 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 장비로 반도체 웨이퍼의 정확하고 균일 한 처리를 위해 고급 기능을 제공합니다. 다양한 호환성, 고급 플라즈마 기술, 사용자 친화적 인터페이스, 안전 기능, 고성능 기능을 갖춘 CS980 은 반도체 연구, 개발, 생산에 필수적인 툴입니다.