판매용 중고 TEGAL Chamber for 415 Plasma asher #293661202

테갈 415 플라즈마 애셔 (TEGAL 415 Plasma Asher) 는 다양한 습하고 건조한 플라즈마 에칭 응용 프로그램에 대해 최고 품질의 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 정밀 에처/애셔입니다. 챔버는 처리량, 반복 가능성 및 프로세스 제어를 최적화하도록 설계되었습니다. TEGAL 415 플라즈마 애셔 (Plasma Asher) 는 다양한 에치 화학 물질에 대해 최적화 된 균일성 및 온도 제어를 제공하는 대용량 쿼츠 챔버를 갖추고 있습니다. 방의 몸은 내구성, 경량, 음극 화 된 알루미늄으로 구성되어 있으며, 유지 보수 및 리필을 위해 빠르고 쉽게 열릴 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 PC 디스플레이를 사용하면 매개변수를 쉽게 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 테갈 415 플라즈마 애셔 (TEGAL 415 Plasma Asher) 는 또한 최고 품질의 플라즈마를 생성하는 독특하고 통합 된 전자빔 활성화 소스를 특징으로합니다. 따라서 고가의 빌딩 블록이나 추가 장비 없이도 효율적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기능은 조정 가능한 전원으로, 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. TEGAL 415 Plasma Asher는 또한 조정 가능한 바이어스 전압, 조절 가능한 압력, 낮은 I/O 지연 및 극저온 냉각 프로세스 가스 라인을 포함한 고품질 설계 기능을 자랑합니다. 이러한 기능을 사용하면 더 엄격한 사양 제어를 제공하면서 더 높은 품질, 더 많은 반복 정확도, 향상된 공구 컴포넌트 수명을 얻을 수 있습니다. TEGAL 415 Plasma Asher는 또한 운영자와 장비를 잠재적 인 위험으로부터 보호하는 여러 안전 기능을 제공합니다. 예를 들어, 약실 (chamber) 에는 압력 상승이 감지되면 충돌하는 비상 차단 스위치가 포함됩니다. 경보시스템 (Alarm System) 도 있어 심각한 문제가 되기 전에 운영자에게 잠재적인 안전 문제를 경고합니다. 테갈 415 플라즈마 애셔 (TEGAL 415 Plasma Asher) 는 매우 유연한 설계를 통해 다양한 에칭 응용 프로그램에 쉽게 구성하여 다양한 생산 프로세스에 이상적입니다. 광범위한 에칭 (etching) 기능을 통해 이 시스템을 모든 운영 라인에 적합한 툴로 만들 수 있습니다. 포괄적인 기능을 갖춘 TEGAL 415 Plasma Asher는 현재 사용 가능한 최고의 에칭 솔루션 중 하나입니다.