판매용 중고 TEGAL 981 #9249070

TEGAL 981은 정밀하고 뛰어난 성능을 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 반도체, 평면 패널 디스플레이, MEMS (MEMS) 및 기타 전자 부품 등 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 981 은 탁월한 유연성과 확장성을 제공하여 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 새로운 표준을 제시합니다. TEGAL 981은 전도성 실드와 방패를 웨이퍼 홀더, 전원 및 매니 폴드 받침대와 함께 사용하는 전자기 간섭 (EMI) 감소 베이스 플레이트 기술을 갖추고 있습니다. 이것은 안전하고 균일한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하며 동시에 장치의 EMI 서명을 줄입니다. 981에는 다양한 웨이퍼 크기, 수동 및 자동 압력 제어 기계, 구성 가능한 에치/애쉬 프로세스 레시피 (etch/ash process recipe) 와 호환되는 웨이퍼 홀더가 있습니다. TEGAL 981은 크기와 모양이 다른 제품을 빠르고, 정확하게 에칭하고, 세척 할 수 있습니다. 이 도구는 사용 가능한 다양한 시작/끝 에칭/어싱 레시피로 에칭 및 애싱 (ashing) 을 구성할 수 있습니다. 981 은 또한 "실리콘 ', 석영, 금속합금 과 같은 여러 가지 기질 을 에칭· 재싱 하는 것 과 동일 한" 에칭' 실 에 유리 와 사파이어 를 에칭 할 수 있다. 테갈 981 (TEGAL 981) 은 에칭 및 애싱 기능 외에도 포토 esist 스트리핑 및 임플란테이션을위한 가스 지원 챔버를 포함한다. 이 약실은 100 mTorr 같은 낮은 압력으로 작동 할 수 있으며, 최대 1,000 단계/초의 속도를 제공합니다. 또한, 에셋은 사용자 친화적 인 인터페이스 (교육 모드) 와 컬러 그래픽 디스플레이 (그래픽 디스플레이) 를 갖추고 있습니다. 981 은 "프리미엄 '질 의 재료 로 만들어졌으며, 그 건축 은 오염 을 방지 하고 열 을 제거 하도록 설계 되었다. 이 모델은 또한 엄격한 안전 표준을 충족하며, 각기 다른 국제 안전 규정을 준수합니다. 특허를 획득한 ERS (Energy Recovery Equipment) 는 에너지 소비를 줄이고 높은 에칭 및 애싱 성능을 보장하도록 설계되었습니다. TEGAL 981은 모든 에칭 및 애싱 응용 분야에 적합한 선택입니다. 탁월한 성능과 유연성과 함께 EMI 시그니처 (signature) 가 감소하여 시장에서 가장 발전된 에칭/애싱 시스템 (etching/ashing system) 중 하나입니다.