판매용 중고 TEGAL 980ACS #9395473

TEGAL 980ACS는 반도체 처리 및 연구 전문가가 사용하도록 설계된 에처 및 애셔입니다. 이 제품은 다양한 애플리케이션의 웨이퍼를 처리하기 위해 설계된 완전 자동화, 고속, 고속 (High-Throughput) 장비입니다. TEGAL 980 ACS는 PC 기반 제어 시스템과 16 비트 RISC 기반 아키텍처를 통해 에칭 프로세스를 빠르고 정확하게 제어합니다. 이 장치는 또한 다음과 같은 다양한 기능을 제공합니다. 다중 프로세스 레시피 (recipe) 및 고도로 조절 가능한 매개변수 설정; 레시피 및 매개 변수 선택을위한 Windows XP 기반 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI); 온도, 압력 및 흐름 제어; 옵션 로드 및 언로드 그리고 750W 전자 레인지 발전기. 에처에는 2 개의 독립 챔버가 있으며, 각각 6 인치 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. 두 챔버 모두 수동적으로, 또는 적극적으로 조절 될 수 있으며, 다른 모든 에칭 매개변수는 일정하게 유지됩니다. 챔버 온도는 실온에서 최대 700 ° C까지 프로그래밍 가능하며, 초당 3 ° C의 속도로 가열 할 수 있습니다. 또한 980ACS는 다양한 전송 테이프 및 웨이퍼 카세트와의 호환성을 위해 설계된 자동 로드/언로드 (load/unload) 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 분당 최대 12 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 실시간 에칭 프로세스 데이터를 기록하고 표시하기 위해 터치 스크린 디스플레이 (touch screen display) 를 제공합니다. 이 자산은 3 상 208-VAC 전력으로 작동하며, 두 방 모두에 총 750W의 전력을 공급할 수 있습니다. 업계에서 가장 발전된 에처 중 하나 인 980 ACS는 최대 1/4m의 에치 깊이를 정확하게 생성 할 수 있으며, 이는 딥 에칭 (deep-etching), 임플란테이션 (implantation) 및 포토 리토 그래피 (photolithography) 와 같은 응용 분야에 이상적입니다.