판매용 중고 TEGAL 965 #293656298

테갈 965 (TEGAL 965) 는 반도체, 광학 및 의료 기기 산업과 같은 다양한 산업에서 널리 사용되는 고급 플라즈마 에처입니다. 965는 많은 etch 처리 매개변수를 제어 할 수 있으므로 매우 다재다능합니다. TEGAL 965는 또한 실리콘, 알루미넘니트라이드, 갈륨 비소 등 다양한 물질을 에치 할 수 있습니다. 965는 고급 8 인치 웨이퍼 처리 챔버 (wafer processing chamber) 를 특징으로하며 기계의 에치 레이트를 증가시키는 2 직경 빔라인을 장착 할 수 있습니다. TEGAL 965에는 통합, 완전 자동화 된 플라즈마 소스가 있으며, 이를 통해 에치 속도 조정 및 제어가 빨라져 프로세스 균일성 (unifority) 과 반복성이 향상됩니다. 이 기계는 다양한 타이밍 사이클 (timing cycle) 을 설정하고, 압력 센서 판독 (pressure sensor readings) 을 검사하며, 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 조정해야 할 경우 에치 사이클 (etch cycle) 을 최대 5 배까지 반복하는 기능이 뛰어납니다. 965 (965) 는 또한 시중의 다른 에처에서 눈에 띄는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 기계에는 에치 타임 (etch time) 과 에치 레이트 (etch rate) 를 자동으로 제어할 수있는 다중 노즐 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 조정 가능한 PIEZO 발진기 (PIEZO oscillator) 를 포함하여 에치 공정을 더 세밀하게 제어 할 수 있습니다. 테갈 965 (TEGAL 965) 는 또한 와퍼의 정밀 위치를 높일 수있는 자동 웨이퍼 조작기 (automatic wafer manipulator) 와 에치 웨이 균일성 및 반복 성을 보장하는 글로벌 에치 알고리즘 (global etch algorithm) 을 갖추고 있습니다. 전반적으로, 965는 공정에서 높은 수준의 정확도와 정밀도가 필요한 사람들에게 훌륭한 에처 (etcher) 입니다. 다양한 고급 (advanced) 기능을 통해 다용도 (versatile) 툴로 사용할 수 있으며, 다양한 어플리케이션에서 안정성이 뛰어납니다. 에치 (etch) 프로세스를 정확하게 제어하는 기능은 탁월한 장점으로, 사용자가 프로세스를 쉽게 복제할 수 있게 해 줍니다. 테갈 965 (TEGAL 965) 는 다양한 재료를 에칭하기위한 신뢰할 수 있고 다양한 도구를 찾는 사람들에게 훌륭한 선택입니다.