판매용 중고 TEGAL 915 #9244755

테갈 915 (TEGAL 915) 는 실리콘 웨이퍼, 구리 및 알루미늄 도금 폼 기판 및 기타 재료와 같은 기판의 정확한 에칭/애셔 (Asher) 가 필요한 가장 까다로운 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 에칭/애셔 장비입니다. 자유 공간 레이저 기술과 촉매 화학 에칭을 모두 사용하여 정확하고, 정밀한 에칭 및 ablation을 제공합니다. 915 의 레이저 소스는 반도체 (semiconductor) 와 비반도체 (non-semiconductor) 물질을 모두 처리 할 수 있으며, 온도의 전체 범위에서 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 갖습니다. 레이저 (Laser) 에는 균일 하고 정밀한 레이저 공간 패턴을 제공하는 로터리 미러 (rotary mirror) 와 레이저 빔의 공간 패턴을 제어 할 수있는 스캐너 헤드 (scanner head) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 광범위한 레이저 주파수를 제공 할 수 있습니다. 그 와이드 트랙 갈바노미터 스캔 장치 (wide-track galvanometer scanning unit) 는 레이저 전력을 동적으로 제어하므로 에칭하는 데 필요한 정확한 양의 재료를 정확하고 정확하게 정의 할 수 있습니다. TEGAL 915는 또한 많은 촉매 화학 에칭 옵션을 제공합니다. 기계 는 여러 가지 "에치언트 '화학 물질 을 여러 가지 깊이 의 침투 물질 에 증착 시키도록" 프로그램' 되고 제어 할 수 있다. 이렇게 하면 임계 치수를 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 로 정확하게 제어하고 복잡한 설계와 패턴을 생성할 수 있습니다. 에칭의 정확성과 정확성 외에도, 915 는 보호 후드 (protective hood) 와 고정 안전 도어 (capining safety door) 와 같은 많은 안전 기능, 그리고 에칭 과정에서 생성 된 위험한 부산물을 수집하는 진공실을 포함합니다. 공구에는 자산과 웨이퍼 (wafer) 의 오염을 줄이는 자동화된 자가 청소 (self-cleaning) 기능도 장착되어 있다. TEGAL 915는 가장 까다로운 에칭 요구를 충족하도록 설계된 고급 에칭/애셔 모델입니다. 이 제품은 정확성, 안전성, 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 다양한 재료를 에칭하는 데 매우 안정적이고 효율적인 장비입니다.