판매용 중고 TEGAL 915 #9220755

TEGAL 915 etcher/asher는 반도체 웨이퍼를 제조하는 데 사용되는 컴퓨터 제어 에칭 및 애싱 프로세스입니다. 4 개의 증착원, 3 개의 독립적 인 회전 에칭/애싱 전극 및 자동 공정 챔버가있는 통합 용광로가 특징입니다. 915는 고급 OptiPulse (tm) 기술로 설계되어 기판의 전체 표면에 대한 에치 깊이와 균일성을 정확하게 제어합니다. 이 장비는 또한 폴리 실리콘, 알루미늄, 니켈, 티타늄을 포함한 다양한 박막 재료를 처리 할 수 있습니다. TEGAL 915는 매우 균일 한 에칭과 재싱을 제공하도록 설계되었습니다. ELPCVD (Enhanced LPCVD) 프로세스와 같은 다양한 통합 프로세스를 사용하여 에치 깊이와 균일 성을 전 세계적으로 제어합니다. OptiPulse 시스템을 사용하면 에치 프로파일의 미세 튜닝을 위해 에치 속도 제어를 조정할 수 있으며, 에치 균일성 (etch unifority) 과 깊이를 1 미크론 수준으로 낮출 수 있습니다. 4 개의 증착원은 높은 증착율, 균일성 및 정확한 박막 레이어 두께 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 전용 회전 전극은 사용자 차트 모양에 따라 에치 패턴을 정확하게 형성 할 수 있습니다. 915에는 최대 2 인치 두께의 웨이퍼를 처리 할 수있는 대형 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 종합적인 제어 장치 (Comprehensive Control Unit) 를 사용하면 사용자 정의 자동 레시피 (Automatic Recipe) 를 생성하고 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 최상의 결과를 얻을 수 있도록 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 유연한 자동화는 빠른 프로세스 변화와 효율적인 처리량을 허용합니다. 집중적 인 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작업 및 레시피 리콜을 쉽게 할 수 있습니다. 요약하면, TEGAL 915 etcher/asher는 폴리 실리콘, 알루미늄, 니켈 및 티타늄과 같은 박막 재료를 빠르고 균일 한 에칭과 재싱을 가능하게하는 다양한 기능을 제공합니다. OptiPulse 머신은 정확한 에치 깊이와 균일성을 보장하며, 통합 프로세스 및 회전 전극은 미세하게 튜닝된 사용자 정의 및 자동 레시피 (Recipe) 생성 및 리콜을 허용합니다. 915는 빠른 프로세스 전환, 효율적인 처리량 및 뛰어난 균일성을 제공하도록 설계되었습니다.