판매용 중고 TEGAL 915 #9210224

TEGAL 915는 RF MEM, 광자 장치 및 나노 전자 부품 생산을 위해 설계된 고정밀 자동 웨이퍼 에처/애셔입니다. 용도에 맞게 제작된 이 머신은 뛰어난 정밀도 및 반복 (repeatability) 기능으로 제작되어 운영 비용 절감을 위해 높은 처리량을 제공합니다. 다양한 공정 가스 소스를 갖춘 충분한 75 x 75 cm 오픈 챔버 (open chamber) 와 내장 가스 매니 폴드를 사용하여 사용자는 다양한 화합물로 최적의 코팅 두께와 균일성을 만들 수 있습니다. 이중 음극 전자 빔 소스는 극도로 균일 한 에칭 속도를 제공하여 사용자가 에치 타임을 정확하게 결정하고 수율을 극대화 할 수 있습니다. 또한, 전면 로드/언로드 구성, 직관적인 제어 장비, 종합적인 통합 기능을 갖춘 915 는 안정적이고 효율적인 프로세스를 보장합니다. 고급 냉각 시스템 덕분에 모든 컴포넌트는 온도가 낮게 유지되어 에치 (etch) 프로세스를 깨끗하고, 안전하며, 안정적으로 진행할 수 있습니다. 클로즈드 루프 피드백 (closed-loop feedback) 기술은 etch 결과에서 반복 가능한 정확성을 보장하고 장치의 신뢰성을 높입니다. 즉, 운영 매개변수를 정기적으로 모니터링하고, 최적의 변동에 대한 실시간 조정을 제공합니다. 또한 TEGAL 915는 강력한 하드 보호 코팅 (hard protective coating) 및 초청정 (ultra-clean) 기술로 프로세스 가스의 누출 및 에치 결과 오염을 방지합니다. 유지 보수 및 유지 보수 측면에서 915는 유지 보수가 적고 사용자 친화적입니다. 자가 점검 (automated self-check) HMI는 사용자가 구성요소 상태를 파악하고 경고를 신속하게 액세스할 수 있도록 하며, 따라서 성능 수준에 대한 정보를 유지할 수 있습니다. 마지막으로, 첨단 기술 지원 팀 (Technical Support Team) 의 지원을 받아 기계가 보정되고 완벽한 작업 순서로 작동하도록 합니다.