판매용 중고 TEGAL 915 #84339

TEGAL 915는 매우 정확한 패턴화 및 이미징 기능으로 유명한 etcher/asher입니다. 이 도구는 현지화된 회로 패턴화를 위해 정밀도 중심 빔 (beam) 기술과 신속한 공구 설정을 위해 통합된 자동 로드 잠금 (automated load lock) 을 사용합니다. 또한 기판 측정 시스템의 선택적 적응이있는 Probe Station 및 Lamination Equipment와 함께 제공됩니다. 915에는 건축 벽, 조절 가능한 방패, 온도 컨트롤러, 온도 센서 및 진공 시스템이 장착 된 전용 작업 챔버 (work chamber) 가 있으며, 최적의 에칭 및 이미징 성능을 위해 일관된 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 도구에는 4 축 동작과 전체 이미징 센서 배열이있는 매우 정확한 스캔 헤드 (scan head) 가 포함되어 있습니다. 또한 최대 26 개의 풀 사이즈 웨이퍼 (full-size wafer) 또는 동급의 적재 용량을 가진 대형 진공 챔버가 있습니다. 3 개의 교환 가능한 노즐 (가스, etch/methylene iodide 및 탄소 주사) 을 갖춘 현장 교체 가능 노즐 시스템을 통해 에칭 공정의 사용자 정의 및 최적화를 허용합니다. TEGAL 915 의 전반적인 유연성은 다양한 애플리케이션과 프로세스에 적합합니다. 클러스터 구성은 공통 STC (Substrate Transfer Chutes) 및 'Zone' 연결과 같은 공유 기능을 사용하여 여러 도구를 함께 사용하여 복잡하고 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 915는 또한 동급의 다른 에처에 비해 정확성과 반복성이 높은 이온화 된 클러스터 빔 자동 초점 장치 (autofocus unit) 를 사용합니다. 기판 크기, 샘플 유형 및 두께, 가스 공급비, 압력 범위 등 TEGAL 915의 다양한 설정 가능한 매개변수를 사용하면 에칭 프로세스를 보다 크게 실험하고 조정할 수 있습니다. 이 도구는 생산성 및 안전을 극대화하기 위해 통합 반자동 클리닝 사이클 (semi-automatic cleaning cycle) 로 더욱 향상되었습니다. 요약하면, 915는 최첨단 이미징 및 빔 기술, 다양한 설정 가능한 매개변수, 유연한 클러스터 구성 및 자동 클리닝 사이클 (automated cleaning cycle) 덕분에 매우 정확한 어플리케이션에 이상적인 고급 etcher/asher입니다. TEGAL 915는 올인원 에칭 및 애싱 머신 (ech-in-one etching and ashing machine) 으로, 연구 및 개발 프로젝트와 관련된 모든 실험실 또는 시설에 매우 다양하고 필수적인 도구입니다.