판매용 중고 TEGAL 915 #293816364

TEGAL 915 Asher는 반도체 산업에서 사용하기 위해 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 에처입니다. 에처는 실리콘-온-인슐레이터 (SOI), 갈륨 비소 (GaAs) 및 실리콘 카바이드 (SiC) 를 포함하여 다양한 크기와 재료의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 기존의 에처와 달리, 고급 마이크로 에치 (micro-etch) 기술로 인해 오염 수준이 매우 낮은 우수한 품질의 에치 결과를 생성합니다. "에처 '에는 열선 이 있는" 에치드' 실 이 들어 있어 전체 "웨이퍼 '를 균일 하게 가열 할 수 있다. 이를 통해 에칭 프로세스가 일관되고 신뢰할 수 있습니다. 웨이퍼를 가열하면 에칭 결과가 매우 정확하고 균일합니다. 챔버에는 RF 생성기와 진공 소스가 포함되어 있으며, 둘 다 에칭 (etching) 프로세스를 구동하는 데 사용됩니다. 915 Asher에는 4 개의 통합 RTI (Real Time Imaging) 카메라가 있습니다. 이 카메라들은 에처가 에칭 (etching) 프로세스를 실시간으로 모니터링하여 운영자에게 피드백을 제공합니다. 이를 통해 에칭 프로세스를 정확하고 효율적으로 제어할 수 있습니다. TEGAL 915 Asher는 EBSS (E-beam sensitivity selection) 를 통합하여 etcher가 주어진 웨이퍼 재료에 대한 최고의 레이저 감도를 선택할 수 있습니다. 이렇게 하면 "에칭 '과정 의 정확성 이 향상 되고, 다른 재료 들 의" 웨이퍼' 에 걸쳐 "에칭 '결과 가 균일 해지게 된다. 또한 "에처 '에는 자동화 된" 웨이퍼' 처리 기능 이 있어서 "웨이퍼 '를 빠르고 안전 하게 로드 하고 언로드 할 수 있다. 에처는 매우 효율적이고 비용 효율적입니다. 에너지 절약 난방 요소, 통합 EBSS 선택, 자동 웨이퍼 처리 (Automated Wafer Handling) 등 운영 비용을 절감하도록 설계된 여러 기능이 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 또한 낮은 온도 작동 모드를 가지고 있으며, 장비에 대한 마모와 눈물을 줄이고 더 긴 서비스 수명을 제공합니다. 전반적으로 915 Asher는 반도체 산업에서 사용하기 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 에처입니다. 첨단 마이크로 에치 기술, 실시간 이미징 (Real Time Imaging) 카메라 및 통합 EBSS 선택은 최소 오염 수준으로 안정적인 에칭 결과를 보장하는 반면, 저온 작동 모드 및 자동 웨이퍼 처리는 효율적이고 비용 효율적인 처리를 보장합니다.