판매용 중고 TEGAL 915 #293811527

TEGAL 915는 소형 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 기계 는 "오존 '감수성 필름," 카본 필름' 및 비정질 "실리콘 '과 같은 여러 가지 기질 을 사용 하는 데 이상적 이다. 견고한 설계는 안정적이고 반복 가능한 처리 결과를 제공합니다. 915는 반복 가능하고 재생 가능한 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 3 축 선형 모터를 사용합니다. 기계 구조는 정밀 선형 가이드 레일과 부드럽고 정확한 에칭을위한 공기 베어링 (air bearing) 으로 구성됩니다. 약실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며, 공정 대기 의 더 좋은 균일성 을 제공 하도록 설계 되었다. 또한 "가스 '분사" 시스템' 을 갖추고 있어서 화학자 들 이 "에칭 '과정 을 최적화 하기 위하여 여러 가지" 가스' 를 "가스 '에 주입 시킬 수 있다. 기계는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하여 작동되며, 이를 통해 연산자는 컴퓨터의 에칭 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 연산자는 etch 프로세스의 매개 변수 (예: 시간, 온도, 압력) 를 조정할 수도 있습니다. TEGAL 915에는 최적의 공정 챔버 대기에 대한 피드백을 제공하는 산소 센서가 장착되어 있습니다. 또한 데이터 로깅, 모니터링 및 분석을 위해 사전/사후 처리 PC와 연결하기위한 통신 인터페이스가 있습니다. 915는 반복 가능하고 재현 가능한 성능 때문에 작은 에칭 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합합니다. 또한 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 패키지가 장착되어 있어 사용자 편리하고 사용이 간편합니다. 그 에 더하여, 기계 는 "센서 ', 비상 정지 장치 및" 에치' 처리 실 을 보호 하는 데 도움 이 되는 온도 모니터 와 같은 안전 기능 으로 설계 되었다. 테갈 915 (TEGAL 915) 는 매우 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 로 가장 정확하고 반복성으로 반복적인 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 원치 않는 오류를 줄이고, 처리량을 극대화하고, 프로세스 지식을 향상시키면서 최적의 에칭 결과를 제공하도록 설계되었습니다.