판매용 중고 TEGAL 915 #293766664

TEGAL 915는 TEGAL Corporation에서 제조 한 고급 플라즈마 에처/애셔 장비입니다. 고급 박막 유전체 및 전자 상호 연결의 에칭 및 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 915는 고효율의 고정밀도 시스템으로, 박막 회로의 대용량 생산을 위한 탁월한 에칭 균일성 (etching unifority) 과 높은 처리량을 제공합니다. 최적 프로세스 제어를 위해 유닛의 설치, 유지 관리, 재구성을 용이하게 하는 혁신적인 모듈식 (modular) 설계로 설계되었습니다. 이 기계는 또한 효율적이고 반복 가능한 에칭을 위해 다양한 프로그래밍 가능한 프로세스를 제공합니다. 테갈 915 (TEGAL 915) 에는 고급 에치 챔버 (etch chamber) 디자인이 장착되어 있으며, 2 개의 고류 가스 흐름 컨트롤러가 공급되며, 최적의 에칭 결과를 얻기 위해 유속, 압력 및 가스 믹스를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한, 챔버에는 자동 가스 탐지 도구 (automated gas detection tool) 가 장착되어 처리 조건을 정확하게 제어합니다. 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 기능을 통해 자산은 탁월한 프로세스 반복성을 제공하며 Etch 특성을 제어합니다. 이 모델은 최첨단 플라즈마 소스를 사용하여 박막 유전체 및 전자 상호 연결을 안정적이고, 일관되고, 균일하게 에칭합니다. 플라스마 소스는 고성능 전자 레인지 (microwave) 발전기로 구동되어 최적의 온도 내성 및 효율적인 에치 프로세스를 만듭니다. 이렇게 하면 재료가 손상되거나 왜곡되지 않고 균일하게 에칭됩니다. 또한, 915에는 고급 다중 평면 이미징 시스템 (multi-planar imaging system) 이 장착되어 있어 에칭 프로세스의 진행 상황을 시각화할 수 있습니다. 장비는 또한 다양한 필름 증착 재료 (film deposition material) 와 호환되므로 더 복잡하고 정확한 표면을 만들 수 있습니다. 마지막으로, 이 시스템은 강력한 원격 네트워킹 (remote networking) 기능도 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 실시간으로 장치를 모니터링, 제어, 업데이트할 수 있습니다. 테갈 915 (TEGAL 915) 는 뛰어난 프로세스 균일성과 박막 증착 공정을 효과적으로 제어하는 고급 다용도 기계입니다. 혁신적인 디자인과 강력한 플라즈마 소스를 통해 사용자는 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 고급 이미징 시스템 (Advanced Imaging Systems) 과 원격 네트워킹 (Remote Networking) 기능을 통해 복잡한 전자 연결 (Electronic Interconnect) 을 생산하는 데 필요한 유연성과 제어 기능을 제공합니다.