판매용 중고 TEGAL 915 #158859

TEGAL 915는 반도체 제조 장비의 글로벌 리더 인 TEGAL Corporation에서 제조 한 etcher/asher입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 MEMS 및 반도체 제작에 사용되며 효율적이고 비용 효율적인 처리를 통해 탁월한 성능과 확장성을 제공하도록 설계되었습니다. 915는 최적화 된 단일 챔버 레이아웃을 가진 멀티 챔버 에처/애셔입니다. 결합 된 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 통해 사용자는 동일한 챔버에서 기판을 동시에 에칭 및 청소 할 수 있습니다. 처리량이 높으며, 각 에칭 주기에 대해 최대 130 개의 기판을 처리 할 수 있습니다. TEGAL 915는 고성능, 저전력, 고밀도 DC 마그네트론 스퍼터 장비로 구동되며, 처리량 향상을 위한 고급 로드/언로드 전송 시스템도 포함합니다. 에치/애쉬 공정은 고밀도 플라즈마, 프리 에치 (pre-etch) 및 애쉬 후 공정의 조합을 사용하여 에치 속도가 우수하고 결과가 우수합니다. 다중 챔버 설계는 정밀 펀치 (Precision Punch) 기능을 사용할 수 있도록 최적화되어 있어 뛰어난 가장자리 정의 기능을 제공합니다. 915는 최상위 인사이트 (in-situ) 진단 기능을 제공하며 결함을 자동으로 보완, 결함 최소화, 프로세스 성능 최적화를 위해 설계되었습니다. 가상 엔드 포인트 (Virtual Endpoint) 는 프로세스 제어를 최적화하고 반복 가능하도록 설계되었습니다. 또한 챔버 온도의 정확한 제어를위한 Cool Chamber도 포함됩니다. 또한 TEGAL 915에는 안전 연동 장치 (Safety Interlock Unit) 및 화학 관성 기능 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 고급 셔터 머신 (advanced shutter machine) 은 기판이 챔버에 단단히 고정될 때까지 기판이 플라즈마 또는 에찬트에 노출되지 않도록 보장합니다. 또한 915 는 다양한 레시피 스토리지, 간편한 최적화 툴 등 다양한 맞춤형 구성 기능을 제공합니다. Dynamic Interface (동적 인터페이스) 및 Remote Control (원격 제어) 기능을 통해 사용이 간편하도록 설계되어 원격 모니터링 및 프로세스 제어에 이상적입니다. 테갈 915 (TEGAL 915) 는 효율적이고 비용 효율적인 프로세싱을 통해 뛰어난 성능과 확장성을 제공하도록 설계되었으며, 오늘날의 반도체 생산 요구에 이상적인 제품입니다.