판매용 중고 TEGAL 905 #163758

TEGAL 905는 집적 회로 (IC) 생산에서 건식 에칭 및 재싱에 사용되는 장비 인 etcher/asher입니다. 멀티프로세스 가스배송 (gas delivery) 장비를 활용해 효율적이고 반복 가능한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 구현하는 도구다. 이 도구는 초소형 플랫폼에 단일 8 "웨이퍼 용량을 갖추고 있으며, 설치 공간을 줄이고 Cleanroom 작업 공간 효율을 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 905에는 일관성 있고 반복 가능한 프로세스 (밀리초 단위 시간 해상도) 를 제공하는 완전 통합된 프로세스 컨트롤러 (process controller) 가 있습니다. 고급 프로세스 제어 기술은 플라즈마 작업 중 프로세스 매개변수를 조정하여 에칭 정밀도 (etching precision) 를 높입니다. "가스 '전달" 시스템' 은 "가스 '를 독립적 으로 제어 하여 각" 에칭' 과정 에 대하여 "가스 '의 최적 조화 를 선택 할 수 있게 해 준다. 테갈 905 (TEGAL 905) 는 또한 통합 분포 카세트를 가지고 있으며, 이는 프로세스 간 웨이퍼를 전환하는 데 필요한 시간을 줄이고 처리량을 크게 증가시킵니다. 프로그래밍 가능한 카세트 포지션을 통해 사용자는 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 프로세스의 타이밍을 조정하여 생산성과 품질을 극대화할 수 있습니다. 또한 도구의 옵토 (Opto) 셀 검출은 한 번에 하나의 웨이퍼만 처리하여 오염을 최소화합니다. 또한 905에는 고장 안전 (fail-safe) 작업과 최대 가동 시간을 지원하는 고급 안전 장치가 포함되어 있습니다. 3 계층 안전 기계에는 Class 1 및 Class 2 연동 도구, 압력 민감성 과압 밸브 및 압력 민감성 세라믹 밸브가 포함됩니다. "퍼지 펌프 '와 배기" 시스템' (옵션) 도 이용 할 수 있다. 고급 공정 제어 기술 및 안전 기능을 갖춘 TEGAL 905 (TEGAL 905) 는 고정밀 생산 요구에 이상적인 도구입니다. 소규모, 빠른 처리 속도, 통합 가스 공급 자산은 IC 제조업체에 매우 효율적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다.