판매용 중고 TEGAL 903E #9394684

TEGAL 903E는 고품질 반도체 및 포토 마스크 장치의 생산을 위해 특별히 설계된 최첨단 에처/애셔 (echer/asher) 로, 광범위한 에치 응용 프로그램에서 뛰어난 신뢰성과 성능을 보여줍니다. 많은 고급 기능을 갖추고 있어, 매번 효율적이고, 안정적이며, 정밀한 처리를 보장합니다. TEGAL 903 E는 실리콘 웨이퍼, 세라믹, 금속, 안경 등 다양한 재료에 대해 심하고 고해상도 에칭을 수행 할 수 있습니다. 그것 은 큰 작업실 을 가지고 있으며, 먼지 와 입자 를 관리 하기 위한 애프터버너 (after burner) 를 갖추고 있다. 903E 의 독보적인 선형 노즐 (linear nozzle) 설계는 폭과 깊이가 균일한 기능을 만들 수 있는 효율적이고 고품질 에칭을 보장합니다. 903 E는 자동화되고 미리 조절 된 에칭을위한 프로그래밍 가능한 황산 전달을 특징으로하며, 매번 정확한 제어 및 균일 한 결과를 제공합니다. 비활성 대기 전달 장비는 재료와 에찬트 사이의 접촉을 제거합니다. 이것은 기질 표면에 대한 에친트 반응으로 인한 오염 및 손상의 위험을 제거합니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 는 빠른 처리 속도, 다양한 프로세스 가스의 구성 가능한 통합, 반응성 이온 에칭 기능, 백사이드 에칭 지원 등의 기능을 통해 에칭 및 어싱 어플리케이션에서 가장 높은 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 에칭 (etching) 동안 재료의 무결성 (integrity) 을 유지할 수 있으며, 심지어 고온에서도 보존할 수 있으며 온도, 압력, 흐름 등의 매개변수에 대한 정확한 제어 기능을 제공합니다. TEGAL 903 E는 직관적인 사용자 인터페이스와 다양한 모니터링 기능을 갖춘 올인원 에처/애셔 (All-in-one etcher/asher) 로, 에칭 프로세스의 품질을 보장합니다. 다중 감지 (Multiple Sensing) 및 위치 지정 (Location) 방법을 사용할 수 있으며 여러 비전 시스템과 이미지 캡처를 선택할 수 있습니다. 기계는 또한 기판 및 에칭트의 호환성을 보장하기 위해 자동 공정 제어 기능 (automatic process control function) 과 바람직하지 않은 조건에서 에처/애셔 (etcher/asher) 를 중지하기위한 자동 프로세스를 제공합니다. 903E는 섭씨 250 ~ 650 도의 작동 온도에서 이산화탄소, 이산화황, 산화질소와 같은 다양한 매체로 작동하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 온도 조절 장치 (temperature control) 가 장착되어 있어 프로세스를 모니터링하여 최적의 상태를 유지합니다. 또한 직장 내 최적 안전을위한 고급 안전 장치 (Advanced Safety Unit) 도 갖추고 있습니다. 903 E는 생산 및 연구 환경 모두에 사용하기에 적합합니다. 이 기계는 임베디드 머신 (Embedded Machine) 의 통찰력을 통해 손쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 모니터링 및 문제 해결을 간편하게 수행할 수 있습니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 또한 수집된 데이터의 무결성을 보장하고 프로세스 안전을 보장하기 위해 여러 가지 정교한 프로토콜과 보호 (safeguard) 를 갖추고 있습니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 는 올인원 (All-in-One) 솔루션에서 탁월한 안정성과 정밀도를 제공하는 에치 및 애쉬 어플리케이션을 위한 이상적인 솔루션입니다. 다양한 기능과 고급 안전 도구 (Advanced Safety Tool) 는 다양한 기판 재료에 대해 일관성 있고 고품질의 결과를 보장합니다.