판매용 중고 TEGAL 903E #9265524

TEGAL 903E Asher는 고밀도 회로 기판 에칭, 접촉 처리, 풀 다이 패턴화 및 처리 등 다양한 응용 프로그램에 사용되는 강력한 에치 및 애싱 장비입니다. 탁월한 성능을 제공하는 TEGAL 903 E 는 다양한 기능과 기능으로, 사용자에게 최상의 성능을 제공합니다. 903E는 최첨단 프로세스 기술의 가장 어려운 과제를 해결하도록 설계되었습니다. 혁신적인 고속 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제공하여 매우 안정적이며 매우 작은 기능을 제공합니다. 903 E 에는 광범위한 시스템 운영 매개변수 (operation parameter) 가 있어 매우 다양한 작업을 수행할 수 있으며 가장 엄격한 사양 요구를 충족할 수 있습니다. 에칭 측면에서 TEGAL 903E는 습식 및 건식 플라즈마, 전기 화학, RIE (반응성 이온 에치) 등과 같은 광범위한 에치 기술을 제공합니다. 또한, 머신에는 etch 매개 변수 설정, 가스 레시피, 프로세스 시퀀스 제어, 레시피 관리 및 연락처 계층 통과 기능과 같은 사용자가 선택할 수 있는 기능이 내장되어 있습니다. 이 장치에는 이온 빔 에칭 (ion beam etching), 고속 에칭 (high rate etching), 확장 범위 에칭 (extended range etching) 및 배치 처리를 위한 자동 로드/언로드 머신과 같은 고급 기능도 포함되어 있습니다. 재싱 측면에서, TEGAL 903 E는 프로세스를 최적화하기 위해 광범위한 애싱 (ashing) 기술 및 사용자 선택 가능한 애싱 매개변수를 제공합니다. 이 도구에는 전자 빔 애싱, 아쿠아 HF (하이드로 플루오릭) 애싱, 페이스트 백 애싱 및 선택적 스퍼터 에치 애싱과 같은 고급 애싱 기술이 포함됩니다. 또한 903E는 내장 레시피 관리, 여과 자산, 가스 조절, 압력 제어 등을 통해 최고 수준의 프로세스 제어를 제공합니다. 요약하면, 903 E 는 최첨단 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스 기술을 제공하며 매우 향상된 기능과 기능을 제공합니다. 매우 신뢰할 수 있는 모델로, 소규모와 대규모 생산 요구를 모두 충족하는 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합합니다. 광범위한 장비 매개변수와 사용자 선택 가능한 기능을 갖춘 TEGAL 903E는 고급 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 적합한 시스템입니다.