판매용 중고 TEGAL 903E #9250125

TEGAL 903E는 고급 MEMS 구성 요소 생산을 위해 특별히 설계된 에칭 및 애싱 장비입니다. 각각 온도 조절 및 모니터링 장치를 갖춘 로드/언로드 스테이션, 에칭 챔버 (etching chamber) 및 다중 웨이퍼 카세트 (multiple wafer cassette) 와 같은 컴포넌트가있는 자동 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 장치는 다양한 기판 크기를 처리하도록 설계되었으며, 독립 실행형 및 다중 카세트 (multi-cassette) 작업과 모두 호환됩니다. 습식 린스 (rinse) 와 드라이 에치 (dry etch) 와 애싱 (ashing) 작업을 모두 수행 할 수 있으며 정밀도는 0.5 미크론입니다. 프로세스 자동화는 처리량을 높여 주며, 최대 4 미크론 (micron) 의 반복성을 제공합니다. 이 기계는 최소 수동 처리 (manual handling) 를 통해 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 고급 온도 제어 및 모니터링 도구는 etch 프로세스에 대한 최적의 온도 설정을 보장합니다. 저크기 지터 (jitter) 는 에칭 및 애싱 과정에서 낮은 오염률을 보장합니다. 또한 기판 전체에 균일성을 갖는 일관된 에치 깊이를 허용합니다. 이 자산에는 온도가 너무 낮거나 높을 경우 자동 경보 (automatic alarm), 다른 프로세스에 맞게 조정할 수있는 여러 진공 (vacuum) 설정과 같은 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 안티아이스 (Anti-Ice) 기능을 통해 빠르고 안전하게 처리할 수 있습니다. TEGAL 903 E는 응용 프로그램 범위가 넓습니다. 마이크로 전자 부품, MEMS 모듈, 전자 및 나노 전자 부품 생산에 사용할 수 있습니다. CVD, 에칭, 드라이 에칭 및 드라이 애싱 (dry ashing) 과 같은 다양한 에치 및 애싱 프로세스에 대한 프로토콜을 제공합니다. 기능 및 어플리케이션의 경우 903E는 안정적이고 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 모델입니다. 정밀도, 처리량, 자동화 능력 등을 갖추고 있어 광범위한 '산업 및 연구 애플리케이션' 에 적합합니다.