판매용 중고 TEGAL 903E #9181763

TEGAL 903E는 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 완전 자동화 된 고 처리량 에처/애셔입니다. 225mm x 225mm x 6.5mm 작업 챔버와 10 ° C ~ 100 ° C의 작동 온도 범위를 특징으로하는이 효율적인 etcher/asher는 독보적인 균일성과 정확성을 제공합니다. 다양한 옵션으로 구성된 TEGAL 903 E 는 다양한 처리 요구 사항을 충족하는 유연성을 제공하며, 탁월한 성능을 제공합니다. 견고하고 신뢰할 수있는 903E는 금속, 합금, 폴리머 및 기타 재료를 포함한 다양한 재료를 45 초 미만의 에칭 시간으로 처리 할 수 있습니다. 정밀 세라믹 보트 척은 우수한 재료 웨이퍼 접촉과 균일성을 보장합니다. 세 가지 별개의 에칭 프로세스를 제공하여 903 E는 음극 FET, 에피 택시 레이어 및 박막 장치를 정확하게 생성 할 수 있습니다. 완료되면, 웨이퍼가 자동으로 청소되고 건조되어, 시스템이 다음 (next) 배치로 빠르게 이동할 수 있습니다. Siemens & TTE 소프트웨어가 탑재된 TEGAL 903E 는 전용 기술자가 없어도 사용이 간편하고 쉽게 구성할 수 있습니다. 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 정확성과 정확성을 보장하는 반면, 라이트 커튼, 인터록 등의 안전 기능은 운영자에게 추가적인 보호 계층을 제공합니다. 이 시스템은 또한 포괄적인 프로세스 레시피 라이브러리 (Library of process recipe) 를 제공하므로 많은 노력을 기울이지 않고도 신속하게, 쉽게 에칭 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 TEGAL 903 E는 고해상도, 고품질 이미지를 1미크론 (1 미크론) 정도의 해상도로 제작하여 감상 및 이미징을 수행할 수 있습니다. 내장 프로그래밍 가능한 비전 시스템은 정확한 에칭을 위해 스테이지 이동, 온도, 진공 수준 및 기타 중요한 매개 변수를 제어하도록 설계되었습니다. 추가적인 편의를 위해 903E 는 제조 환경에서 다른 시스템 및 컨트롤러와 통합될 수 있습니다. 903 E는 사용자가 최소한의 노력으로 품질 출력을 달성하도록 도와 주는 뛰어난 결과를 제공합니다. 견고한 빌드, 뛰어난 성능, 사용자 친화적인 UI (UI) 를 통해 이 제품은 제조 업체와 생산 시설에서 구성 요소와 집적 회로를 빠르고 정확하게 만들 수 있는 이상적인 머신이 됩니다.