판매용 중고 TEGAL 903E #9113440

TEGAL 903E는 고 처리량, 대용량 고급 패키징 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 다이오드 펌핑 솔리드 스테이트 (DPSS) etcher 장비입니다. 이 에처 (etcher) 는 반복적이고 안정적인 성능을 보장하는 혁신적인 기능과 기술을 갖추고 있습니다. TEGAL 903 E는 정확성 또는 반복 가능성을 손상시키지 않고 빠른 열 사이클링 및 빠른 에칭을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 FR-4, FR-5, Polyimide, RF 재료, 석영, 플라스틱 및 금속을 포함한 다양한 기판 재료를 에칭 할 수 있습니다. 또한 3D 마이크로 머시닝 및 플라스틱 및 하드 기판의 금속 화에도 사용할 수 있습니다. 903E는 특허받은 웨이브가이드 (waveguide) 설계를 통해 높은 식각 정확성과 반복성, 그리고 높은 스루풋을 달성 할 수 있습니다. 이 장치는 최대 250KW의 최고 전력을 달성 할 수 있으며, 표준 최대 평균 전력은 50KW입니다. 또한 903 E는 계단 파 (steped wave), 처프 파 (chirp wave), 가변 파형 (variable power waveform) 과 같은 다양한 파형 형식을 지원하기에 충분히 유연합니다. 기계에는 확장 된 챔버 (chamber) 크기와 얕은 프로파일 (shallow profile) 이 장착되어 소형 설치 공간에서 처리량이 높습니다. 더 많은 유연성과 성능을 위해, 챔버는 개방형 또는 밀폐형 데크, 추가 통합 구성 요소 (예: 다중 값 센서, 빠른 쿨다운 제트) 로 구성 될 수 있습니다. TEGAL ETch Tool (TES) 소프트웨어로 추가 프로그래밍 가능성을 향상시킬 수도 있습니다. 또한 TEGAL 903E의 사용자 친화적 인 설계로 운영, 유지 보수 및 교정이 용이합니다. 에셋에는 전용 그래픽 사용자 인터페이스 (단계별 메뉴 및 실시간 보기/설정 모드 포함) 가 있습니다. 또한 GUI 는 에칭 (etching) 프로세스에 대한 피드백을 제공하며, 오작동 시 신속하게 진단을 할 수 있습니다. TEGAL 903 E는 혁신적인 통합 기술을 통해 향상된 효율성, 반복성, 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. wafer bonding, microwave circuit packaging, nanofabrication, 3D 통합 및 MEM 제작과 같은 고급 패키징 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.