판매용 중고 TEGAL 903E #9004065

TEGAL 903E는 submicron photolithography의 제작을 위해 특별히 설계된 에칭 장비입니다. 6 인치 웨이퍼 용량과 모든 기능을 갖춘 TEGAL 903 E는 고급 석판화 요구 사항에 이상적인 선택입니다. 903E는 강력한 모듈식 디자인, 고해상도 이미지 형성 시스템, 전용 고정밀 XY 스테이지 등을 갖추고 있습니다. XY 단계에서는 와퍼를 개별 단계로 이동하여 photomask, 회색 음영 마스크, 임의의 복잡도 배열을 매우 정확하게 에칭할 수 있습니다. 903 E는 실리콘, 크롬, 텅스텐, 금 등 다양한 매체로 에치 할 수 있으며, 음광 분해제에 사용되는 광중합체를 포함 할 수 있습니다. 프로세스는 특정 레이어 두께 및 원하는 구조의 결정 학적 방향 (crystallographic orientation) 에 맞춰질 수 있습니다. 또한이 장치는 PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) 와 같은 다수의 플라즈마 기반 프로세스를 포함하도록 구성 될 수 있습니다. TEGAL 903E에는 강력한 데이터 분석 및 조작 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 실시간으로 에칭 (etch) 결과를 비교할 수 있으며, 맞춤형 제작 절차를 개발할 수 있습니다. 컴퓨터 모니터에 다양한 이미지를 실시간으로 표시할 수 있으며, 패턴 방향 (pattern orientation) 과 반복 (repeatability) 의 정밀한 조정을 쉽게 만들 수 있습니다. TEGAL 903 E는 25 ppm 처리 속도와 유지 보수가 최소화되어 안정성이 뛰어납니다. '안전 연결 (Safety Interlock)' 툴과 '환경 모니터링 (Environment Monitoring)' 기능을 통해 사용자와 시스템 모두에 가장 높은 수준의 안전을 보장합니다. 마지막으로, 903E 는 사용자에게 친숙한 소프트웨어 제품군과 함께 제공되므로, 사용자에게 자산 기능을 직관적으로 제어할 수 있습니다. 다양한 기능을 갖춘 903 E는 모든 고급 석판 응용에 적합한 선택입니다.