판매용 중고 TEGAL 903E #33638

TEGAL 903E는 실리콘, 사파이어, 실리콘 니트 라이드, 실리콘 옥사이드 (Silicon Nitride), 실리콘 옥사이드 (Silicon Oxide) 등 다양한 재료 및 기판에 얇은 필름을 정확하고 효율적으로 에칭, 처리 및 퇴적하도록 설계된 애셔/에처 장비입니다. 에칭 및 처리 프로세스의 첫 번째 단계는 기판 사전 처리입니다. 이것은 Pre-Wet Station에 의해 수행되며, 이는 4 개의 클리닝 용매와 필터를 사용하여 에칭 전에 기판에서 오염 물질을 제거합니다. 그런 다음 기판이 핫플레이트에 로드되어 예열됩니다. TEGAL 903 E에는 박막 패턴을 에칭하기 위해 E-Beam이라는 초선형 에치 소스가 있습니다. 이 소스는 기질의 고도로 이방성 에칭을 생성하고 중요한 피쳐 크기와 전기 특성을 유지합니다. 903E는 독점 LLA (TM) 소스 도구를 사용하여 얇은 필름을 기판에 입금하고 접착제로 결합합니다. 이 증착 과정은 완제품의 균일하고 일관된 품질을 보장합니다. etch/deposition 프로세스는 필름 증착의 균일성을 최적화하기 위해 닫힌 루프 제어 시스템입니다. 시간 (time), 속도 (rate), 압력 (pressure) 등의 매개변수를 제어하는 동시에 가장 정밀도가 높은 매개변수를 전달하도록 실시간으로 설정할 수 있습니다. 903 E는 다양한 안전 기능을 제공하며, 근로자를 부상으로부터 보호하기 위해 설계되었습니다. 제어 장치는 과부하 및 과열 방지를 위해 안전 차단 메커니즘을 사용합니다. 이 기계에는 내장 화재 경보 기계가 장착되어 있으며, 폭발 방지 인클로저가 장착되어 있습니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 는 다양한 기판과 박막의 에칭 및 처리를 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 기계입니다. 폐쇄 루프 제어 도구 (closed-loop control tool) 는 반복 가능하고 정확하게 제어 된 etch/deposition 프로세스를 제공하는 반면, 안전 기능은 운영자에게 최고 수준의 보호 기능을 제공합니다.