판매용 중고 TEGAL 903E #293828280

테갈 903E (TEGAL 903E) 는 다양한 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 견고하게 제작된 장비는 고효율 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 기능을 갖추고 있어 산업용으로 완벽한 선택입니다. TEGAL 903 E 는 신뢰할 수 있는 성능과 정확한 제어를 결합하여 다양한 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 선택입니다. 903E는 2 위치, 멀티 건 유닛 및 고정 중심, 가변 에치 건 구성을 포함하는 이중 챔버 시스템입니다. 2 위치 건 유닛은 2 개의 에칭 (etching) 또는 애싱 건 (ashing gun) 을 동시에 정확하게 제어 할 수 있으므로 동일한 챔버에서 여러 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 고정 중심, 가변 에치 건 구성은 903 E의 제어 및 응용 프로그램 범위를 더욱 증가시켜 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 매개변수의 정확한 변형을 허용합니다. TEGAL 903E는 높은 정확도로 최대 8 "제곱의 실리콘 기판을 에칭/애싱 할 수 있습니다. 또한 에칭 또는 애싱 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 컴퓨터 제어 리버스 바이어싱 (reverse-biasing) RF 소스를 특징으로합니다. TEGAL 903 E는 여러 번의 동일한 실행 후에도 일관된 결과를 보장하도록 설계되었습니다. In-Situ RF Monitor (현장 RF 모니터) 를 사용하면 Etching 및 Ashing 프로세스 동안 RF Source 및 Process 매개변수를 검사하여 프로세스 중에 발생할 수 있는 모든 잠재적 이상을 파악할 수 있습니다. 903E는 여러 가지 유용한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이 장치는 미리 설정된 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 깊이와 패턴화 된 영역에 대한 다양한 깊이를 수행하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 기계에는 프로세스 매개변수 (process parameters) 의 동적 범위가 포함되어 있어 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스를 미세하게 조정할 수 있습니다. 이러한 프로세스 제어 (process control) 는 높은 수준의 안정성을 제공하여 사용자가 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 903 E는 품질 구성 요소 및 재료로 구성되어 내구성이 뛰어난 도구입니다. 자산은 온도 변화, 산, 염기, 용매 등 다양한 환경 조건을 견딜 수 있습니다. 이 모델에는 자동 종료 장비가 있으며 TEGAL 903E가 과열되지 않도록 보호합니다. 전반적으로 TEGAL 903 E는 산업 사용자의 요구를 충족하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 이 제품은 견고한 디자인, 정확한 제어, 신뢰할 수 있는 성능을 갖추고 있어 다양한 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다 (영문).