판매용 중고 TEGAL 903E #293828247

TEGAL 903E
제조사
TEGAL
모델
903E
ID: 293828247
웨이퍼 크기: 4"
Etcher, 4" LEYBOLD HERAEUS D30A Vacuum pump Silicon Carbide (SiC).
TEGAL 903E Etcher는 에칭/어칭 응용 프로그램을위한 매우 고급적이고 안정적인 장비입니다. 높은 정확도, 빠르고, 반복 가능한 결과와 일관된 품질, 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 경쟁업체보다 우위를 점할 수 있는 다양한 혁신적인 기능, 기능들이 포함되어 있습니다 (영문). TEGAL 903 E의 핵심 기능은 고급 에칭/어칭 처리 기능입니다. 이것은 정밀도 이온 빔 에칭/애싱 (eching/ashing) 기술을 사용하여 높은 수준의 정밀도와 정확성을 보장합니다. 이 장치는 또한 혁신적인 자동 조절 가능 전원 공급 장치 (Power Supply Machine) 를 갖추고 있어 처리 능력을 정확하게 조절하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한이 도구에는 광학 정렬 에셋 (optical alignment asset) 과 다양한 진공 매개변수 (vacuum parameters) 가 제공되어 에칭/애싱 공정의 균일 한 적용을 보장합니다. 903E 는 분당 3,000 평방 센티미터 (평방 센티미터) 의 속도로 처리할 수 있어 빠른 주기 (cycle) 를 실현하고 대용량 생산 요구 사항에 적합합니다. 또한, 에칭/애싱 공정에 여분의 부스트를 제공하는 플라즈마 증착 모델이 포함되어 있으며, 더 부드러운 선과 더 단단한 에칭/애싱 공차가 생성됩니다. 903 E의 다른 기능에는 사용자 친화적 인 인터페이스 (etching/ashing 매개변수) 가 포함되어 있으며, 장비 메모리에 사용자 정의 설정을 저장할 수 있습니다. 이 시스템은 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스 동안 부품 온도를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 세밀하게 조정하여 성능을 극대화할 수 있습니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 는 기계 요구 사항 및 에칭/애싱 장비의 안정성에 영향을 줄 수있는 품목을 확인하는 자동 진단 장치 (automated diagnostics unit) 를 갖추고 있습니다. 또한, 이 도구에는 직장의 사고를 방지하는 종합적인 안전 시스템 (예: 비상 셧오프) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로, TEGAL 903 E는 가장 까다로운 에칭/애싱 요구 사항을 충족하도록 설계된 안정적이고 효율적인 에칭/애싱 자산입니다. 첨단 처리 기능과 수많은 혁신적인 기능을 통해 정확하고, 반복적이며, 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스, 사용자 정의 매개변수, 포괄적인 안전 시스템 등을 갖춘 903E 는 운영 애플리케이션에 적합한 안정적이고 일관된 에칭/애싱 (etching/ashing) 성능을 제공합니다.
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