판매용 중고 TEGAL 903E #293827885

TEGAL 903E (Etch/Ash) 장비는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고도의 다목적 에칭 및 애싱 시스템입니다. 테갈 903 E (TEGAL 903 E) 는 안정성과 확장성으로 유명하며, 업계에서 존경받는 도구입니다. 903E etch/ash 장치에는 화학원 배열, 입구 및 콘센트 매니 폴드, 2 개의 가스 믹서가 포함 된 통합 화학 전달 기계가 있습니다. 이것은 에칭 또는 애싱 공정 전반에 걸쳐 정확한 화학 농도 및 전달을 보장합니다. 에치/애쉬 (etch/ash) 도구는 또한 최대 350 x 350 mm의 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 웨이퍼 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 플랫폼에는 각 웨이퍼 위치를 정확하게 인덱스화하는 웨이퍼 방향 맵 (wafer orientation map) 과 프로브 (probe) 가 장착되어 있습니다. 903 E는 통합 화학 전달 자산 외에도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 응용 모두를 위해 설계된 전자 제어 챔버를 갖추고 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 환경을 제공하도록 설계되었으며 다른 응용 프로그램에 맞게 정확하게 조정 할 수 있습니다. 또한, E-chuck 디자인은 짝수 진공 및 반복 가능한 균일 한 자기 힘을 제공합니다. TEGAL 903E는 고해상도 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 위해 설계되었으며 뛰어난 프로세스 균일성과 반복성을 제공합니다. 전자 빔, 조절 가능한 챔버 셔터, 자동 초점 기능 (auto-focus capability) 은 모두 프로세스 전체에서 패턴 정확도를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 TEGAL 903 E는 사용자가 에치/애쉬 레시피 (etch/ash recipe) 를 프로그래밍하고 완료된 레시피를 저장하여 향후 참조할 수 있도록 강력한 사용자 친화적 제어 모델을 제공합니다. 또한, 이 장비를 사용하면 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스 동안 프로세스를 모니터링하고 레시피 및 기타 매개변수를 추적할 수 있습니다. 903E 는 고급 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 시스템으로 반도체 업계의 애플리케이션에 적합합니다. 여러 가지 고급 기능을 통해 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션의 최고 수준의 정확성과 균일성을 보장할 수 있습니다. 확장성, 뛰어난 프로세스 균일성 (process uniformity) 과 결합된 장치의 신뢰성은 많은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.