판매용 중고 TEGAL 903E #293806912

TEGAL 903E는 도금, 마스킹 및 반도체 장치 제조와 같은 응용 분야에 이상적인 매우 정밀한 etcher/asher입니다. 테갈 (TEGAL) 에처 제품군의 일부이며 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 혁신적인 자동 PVR (Precise Vacuum Regulating) 시스템을 갖추고 있으며, 전체 사이클 전체에서 균일 한 진공을 보장하여 프로세스 압력을 수동으로 제어하지 않습니다. 이 개선 된 진공 제어는 정확한 에칭 매개 변수를 유지하고 최적의 결과를 보장하는 데 도움이됩니다. 또한, TEGAL 903 E에는 웨이퍼에 열을 균등하게 분배하도록 설계된 맞춤형 2 헤드 전기 난방 요소가 장착되어 있습니다. 에처에는 강력하지만 사용자 친화적 인 제어 시스템도 있습니다. 에칭 프로세스 매개변수 (etching process parameters) 에 따라 웨이퍼 온도를 정확한 범위 내에 유지하도록 프로그래밍됩니다. 내장 카운트 다운 타이머는 안정적인 에칭 프로세스를 보장합니다. 또한 903E는 특수 Windows 기반 소프트웨어 프로그램을 사용하여 시스템을 제어합니다. 이렇게 하면 매개변수를 사용자정의할 수 있고, 에칭 프로세스를 쉽게 추적할 수 있습니다. 에처에는 온도 조절이 가능한 정교한 디지털 칠러 (digital chiller) 도 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 공정 중 에 과열 되지 않도록 하여" 에칭' 과정 의 정확도 가 향상 된다. 또한 903 E에는 런타임 레코더 (Run-Time Recorder) 가 내장되어 있어 각 Etch 프로세스의 결과를 쉽게 추적할 수 있습니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 의 최대 에칭 속도는 분당 20 미크론 이상이며, 섬세한 재료의 정밀 에칭에 이상적입니다. 또한 고밀도 폴리 이마이드, 폴리 에스테르 및 석영 기판을 에치 할 수 있습니다. 이는 반도체 소자 제조, 정밀 머시닝 (precision machining) 과 같은 첨단 산업에서 사용하기에 적합합니다. 에처는 최고 품질 표준으로 설계 및 제조됩니다. 모든 구성 요소는 부식 내성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며, 수년 동안 안정적이고 효율적인 작동을 제공하도록 설계되었습니다. TEGAL 903 E는 공장을 떠나기 전에 엄격한 테스트를 거쳐 검사되며 1 년 보증이 제공됩니다. 따라서, 크고 작은 웨이퍼를 모두 에치 (etch) 하는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 방법을 제공합니다.