판매용 중고 TEGAL 903E #293766667

TEGAL 903E는 반도체, MEMS 및 나노 기술 장치 제작을 위해 설계된 고급 에치/애싱 도구입니다. 다단계 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 습식 화학 에칭 (WCE) 공정이 가능합니다. 이 장비에는 고전압 전원 공급 장치, 플라즈마 발전기, 수명이 긴 에칭 챔버가 장착되어 있습니다. TEGAL 903 E의 강력한 기능은 중요한 종횡비, 높은 종횡비 에칭, 고 종횡비 이방성 습식 및 고급 도핑 기술로 고급 에칭 응용 프로그램을 가능하게합니다. 903E의 진공실은 최대 내부 압력 1.5 mBar 등급이며, 전체 챔버 부피는 120 리터입니다. 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 수용 할 수 있으며 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 특수 DC/RF 듀얼 모드 플라즈마 제너레이터 (Plasma Generator) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템의 가스 전달 라인은 분말 에칭, 반응성 스퍼터링, 화학 증기 증착 (CVD) 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 과 같은 광범위한 에치 공정에 사용될 수 있습니다. 903 E는 장기적인 사용과 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 수명이 긴 챔버는 모든 금속 구조로 만들어져 있으며, 우수한 에칭 결과를 보장합니다. 특별히 설계된 가스 전달 라인은 파우더-인젝터, 밸브 컨트롤러, 여러 가스 병 슬롯, 안전/폭발 방지 차단 밸브와 같은 고급 기술을 사용합니다. TEGAL 903E는 정확한 프로세스 제어를 위해 내장 온도 조절 및 정확한 종점 감지를 제공합니다. 이 장치는 스테인레스 스틸 팔레트 (stainless steel pallet) 및 세라믹 캐리어 웨이퍼 (ceramic carrier wafer) 를 포함한 다양한 웨이퍼 캐리어와 호환됩니다. 이 기계에는 고정밀 에칭 제어 소프트웨어 인 테가 템 (TEGATEM) 이 장착되어 있으며, 에칭 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정하는 데 사용할 수 있습니다. 이 도구는 안전하고 사용자에게 친숙한 안전 자산을 갖추고 있으며, 범퍼 방지 (Anti-bumper), 가스 안전 차단 밸브 (Gas Safety Shutoff Valve), 원격 제어 차단 기능, 원격 위치에서 에처를 제어하는 기능 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. TEGAL 903 E는 복잡한 MEMS 및 나노 기술 응용 프로그램에서 전문 에칭 프로세스의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 다양한 에칭 요구에 이상적인 도구입니다.