판매용 중고 TEGAL 903E #293594316

TEGAL 903E는 asher와 etching에 대한 통합 접근 방식을 제공하는 독특한 etcher/asher입니다. 더 나은 성능과 신뢰성을 위해 2 가지 형태의 웨이퍼 에칭과 2 가지 형태의 애싱 (ashing) 이 특징입니다. 이 etcher/asher는 다양한 기판으로 작업할 수 있으며, 단일 레이어 및 다중 레이어 응용 프로그램을 처리할 수 있습니다. 이 장치는 단일 공급 전압으로 작동하도록 설계되었으며, 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 모델이 모두 있습니다. 그것 은 "에치 '처리 중 에" 웨이퍼' 를 운반 하는 데 사용 되는 바닥 판 을 가지고 있다. 베이스 플레이트에는 에치 프로세스 (etch process) 에 정밀성과 균일성을 제공하는 링이 연결되어 있습니다. TEGAL 903 E의 가열 시스템은 정확한 에칭을 보장하기 위해 균일 한 온도를 유지하도록 설계되었습니다. 에치 (etch) 공정 후, 웨이퍼는 재로 보내지기 전에 미리 정해진 온도로 냉각된다. 903E의 애셔 (asher) 구성 요소는 응용 프로그램에 따라 선택할 수있는 두 가지 형태의 애셔 (asher) 를 특징으로합니다. 첫 번째 옵션은 빠른 애셔 (rapid asher) 로, 빠르게 완료된 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다. 두 번째 옵션은 느린 애셔 (slow asher) 인데, 이는 더 높은 정밀 작업과 느린 에치 및 애싱 프로세스에 이상적입니다. 이러한 어싱 (ashing) 옵션에는 모두 조정 가능한 온도 설정이 포함되어 있으므로 사용자가 특정 응용 프로그램에 대해 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 903 E의 에칭 및 애싱 속도를 높이기 위해 두 가지 멀티 스퍼터링 옵션이 있습니다. 이것들은 다중 에칭 (multiple-etching) 과 동등한 것으로 사용되는데, 이는 에치 (etch) 와 애싱 (ashing) 과정이 시작되기 전에 더 많은 양의 에칭 가스를 웨이퍼 위에 균등하게 분산시킬 수 있기 때문입니다. 테갈 903E (TEGAL 903E) 의 양극 및 음극 네트는 최적의 에칭 및 애싱 성능을 보장하도록 설계되었으며, 전원 공급 장치는 제어 가능한 에칭 프로세스를 제공합니다. 마지막으로, TEGAL 903 E에는 컴퓨터 인터페이스가 장착되어 있으므로 사용자가 전체 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 자동화 된 공정은 상당한 운영자 개입없이 빠르고 정확하게 에칭 (etch) 하고 애신 (ashene) 웨이퍼에 사용될 수 있습니다. 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 는 사용하기 쉽고 프로그래밍이 용이합니다. 즉, 사용자는 전체 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 903E 는 다양한 애플리케이션에 적합한 효과적인 에치 앤 애싱 (etch and ashing) 시스템입니다.